Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #293760242 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD
ID: 293760242
Dry etchers.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD est un graveur/asher qui utilise des procédés plasmatiques et chimiques pour produire des dispositifs à petite échelle, tels que des puces et des circuits. Ce dispositif est composé d'une chambre principale d'une largeur de 370mm, d'une profondeur de 50mm et d'une hauteur de 500mm, et de plusieurs récipients intérieurs pour le maintien des matériaux à graver, tels que des plaquettes de silicium, de l'arséniure de gallium et du saphir. Le dispositif est interfacé à un ordinateur via la communication RS-232 et structuré en plusieurs modes de travail pour assurer une automatisation complète du processus de gravure. TEL Unity IIe 85DD présente un design de tête de graveur avancé avec une buse à quatre jets orientés angulairement et quatre jets concentriquement cylindriques. Les jets permettent une livraison uniforme du plasma ou des produits chimiques à la pièce, permettant une gravure en douceur. Le processus de gravure commence par la combinaison de gaz dans la chambre et l'alimentation en énergie, générée par un générateur hyperfréquence 60MHz. Cette énergie crée une répartition uniforme du plasma sur l'ensemble de la pièce, ce qui se traduit par un courant de conduction provoquant la décomposition du matériau de travail. En outre, divers produits chimiques peuvent être utilisés en combinaison avec le processus de gravure du plasma pour améliorer sa précision. La caractéristique la plus unique de TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD est ses capacités de contrôle de processus entièrement automatisées. Il utilise un équipement de contrôle en boucle fermée pour ajuster avec précision les paramètres de fonctionnement, tels que la température, la pression, le temps d'exposition et le débit de plasma. Cela garantit un résultat de gravure précis et minimise les risques de dommages matériels dus à des conditions de gravure incorrectes. De plus, la présence de capteurs d'oxygène et d'humidité dans le système permet le réglage automatique des conditions de gravure pour la variation du matériau utilisé. Enfin, UNITY IIE 85 DD offre une large gamme de caractéristiques de sécurité. L'intérieur de la chambre est construit avec une enceinte à vide en acier inoxydable pour protéger contre les dommages thermiques et prévenir les accidents dus à des changements de pression soudains au sein de l'unité. L'appareil est également équipé d'une machine de vision et de systèmes à capteurs multiples pour surveiller en permanence le processus et assurer la stabilité. De plus, un outil d'arrêt d'urgence permet à l'utilisateur d'interrompre rapidement le processus de gravure en cas d'événements inattendus.
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