Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #9219713 à vendre en France

ID: 9219713
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Oxide etcher, 8" (2) Turbo pumps (2) RF Generators (4) EBARA Pumps Remote AC box (2) Process chambers CIM Linked 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD est un graveur multi-chambres conçu pour traiter une grande variété de plaquettes semi-conductrices. Cet appareil est conçu avec un procédé de chambre 85DD propriétaire, qui fournit des résultats de gravure rapides et précis. L'équipement est composé de deux chambres de processus, qui travaillent ensemble pour compléter le processus de gravure. La première chambre est capable de réaliser des procédés de gravure standard, tels que la gravure humide et sèche, tandis que la seconde chambre est dédiée aux procédés de pré-nettoyage et de post-gravure. Ce système à deux chambres permet une gravure efficace et précise des différents matériaux sans nécessiter de modifications manuelles de la configuration. TEL Unity IIe 85DD est équipé d'une unité de distribution multi-gaz et d'une machine de commutation de gaz électropneumatique brevetée. Cet outil permet à l'utilisateur de contrôler le processus de gravure en contrôlant précisément l'écoulement des gaz réactifs et des gaz inertes. L'unité est également équipée de PEPE, ou Plasma Gravching of Polymers and Energetics, qui est spécifiquement conçu pour traiter des polymères et d'autres matériaux sensibles. L'atout PEPE est un arrangement laser à double tête qui utilise des impulsions ultra-courtes d'énergie laser pour créer de petites fonctionnalités dans les matériaux sensibles. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD est conçu pour respecter les normes industrielles les plus élevées en matière de sécurité et de protection de l'environnement. Le dôme de confinement de l'unité empêche les particules atmosphériques produites pendant le traitement de s'échapper à l'extérieur de la chambre ; en outre, la chambre est équipée d'un modèle de surveillance de l'oxygène qui règle automatiquement la pression et le débit des gaz pour assurer un fonctionnement sûr. D'autres caractéristiques de sécurité comprennent le fonctionnement automatique de l'obturateur, un équipement intégré d'extinction d'incendie, et un interrupteur de défaut au sol. TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD offre à l'utilisateur un accès facile et rapide aux paramètres du système. En plus du logiciel de processus intégré de l'unité, les utilisateurs peuvent également contrôler l'unité à distance via un smartphone ou d'autres appareils sans fil. UNITY IIE 85 DD est un graveur optimisé et polyvalent adapté aux besoins de gravure avancés des fabricants de semi-conducteurs. Ses fonctionnalités avancées, ses systèmes de sécurité intégrés et son interface utilisateur intuitive font de l'unité un choix idéal pour toutes les applications de gravure de semi-conducteurs.
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