Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EM #9091879 à vendre en France

La machine TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85I EM etcher/asher est un appareil de gravure à sec et ashing conçu pour la gravure à plasma et la cendre à sec dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le système est conçu avec une capacité multi-stations, multi-processus, permettant d'intégrer plusieurs processus en un seul. Il dispose d'une chambre scellée avec des capacités d'auto-nettoyage et de séchage, réduisant la rupture des matériaux avec des résultats de processus contrôlés et reproductibles. TEL UNITY IIE 85IEM dispose d'un générateur bi-fréquence haute technologie avec une section radiofréquence basse fréquence, et d'une source haute fréquence pour maintenir une pression de chambre uniforme pendant le processus de gravure et de cueillette du plasma. La machine est conçue avec un élément de suscepteur actif pour localiser et promouvoir la gravure dans une région sélectionnée. L'élément combepteur actif permet également de réduire l'érosion chimique ou de reculer le masque de résistance. TOKYO ELECTRON UNITY II E 85IEM etcher/asher est équipé d'un outil interne de surveillance de la composition du gaz, fournissant un contrôle précis de la composition du gaz plasmatique avec la capacité d'analyser et de surveiller les concentrations de gaz sur une base continue. Il est également livré avec des portes robustes de style clamshell pour la charge mécanisée et le déchargement. L'etcher/asher permet de passer en mode flexible entre gravure et ashing avec une programmation de recette rapide et facilement programmable. Tous les paramètres du matériau cible peuvent être ajustés avec précision avec le contrôle du débit de gaz et la température uniforme du substrat. L'actif fournit également des profils de température reproductibles précis pour chaque chargement de recette, permettant une configuration simple et une correction rapide du travail. Un modèle intégré et avancé de surveillance des gravures plasmatiques avec une journalisation complète des données permet de suivre l'exécution des recettes en temps réel. TEL UNITY II E 85IEM est conçu avec un équipement de sécurité entièrement automatisé, offrant des normes de sécurité élevées pour protéger les opérateurs, les matériaux et l'environnement. Il est également livré avec un logiciel HMIS intuitif avec l'enregistrement des recettes, et des options de support multi-langues, permettant un fonctionnement facile par des utilisateurs avec des capacités et des antécédents linguistiques différents. TEL Unity IIe 85I EM etcher/asher est un système efficace pour le processus de fabrication des semi-conducteurs, fournissant un contrôle fiable du processus pour un rendement maximal et des résultats reproductibles.