Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe SCCM #293627313 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM (Substratum Confined Chemical Mechanical Pollishing system) est un graveur/asher de pointe destiné à diverses applications de semi-conducteurs. Comme son nom l'indique, TEL Unity IIe SCCM intègre des procédés chimiques et mécaniques dans ses opérations de gravure et de polissage. Il est conçu pour fournir une uniformité de pointe dans les résultats de polissage tout en supportant les configurations de substrat les plus avancées. TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM est capable d'un procédé de gravure utilisant la solution HF : H2O2 (acide fluorhydrique : peroxyde d'hydrogène) pour éliminer le matériau du substrat. Le procédé commence par un substrat placé dans la chambre de gravure, puis une buse spéciale projette une solution de gravure hautement contrôlée sur le substrat sous basse pression. La résistance relative de la solution HF : H2O2 est ensuite modifiée pour ajuster la vitesse de gravure, ce qui permet un contrôle extrêmement précis du processus de gravure. De plus, Unity IIe SCCM assure également le polissage mécanique. Dans le cadre de sa plate-forme intégrée CMP (Chemical Mechanical Pollishing), TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM polit mécaniquement des surfaces inégales du substrat. Cela peut être fait soit en utilisant des tampons de polissage rapide-abrasif ou en utilisant des outils en diamant abrasif inférieur. Le procédé permet de produire une morphologie de surface plus fine et des surfaces plus lisses, ce qui permet une précision inégalée dans le processus de fabrication. En outre, TEL Unity IIe SCCM est conçu avec diverses caractéristiques de sécurité, y compris la surveillance de la température et un système d'évacuation automatique des gaz. Il est également livré avec un système pressurisé qui maintient l'environnement intérieur exempt de contaminants. En outre, il supporte une variété de types de substrat, tels que le silicium, l'aluminium et d'autres métaux, ainsi qu'une large gamme de tailles de substrat. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM est un graveur/asher avancé qui est capable de gravures très précises et des processus de polissage mécanique. Il offre des résultats supérieurs dans le traitement des substrats et est conçu avec diverses caractéristiques de sécurité et une large gamme de types de substrats adaptables. Pour ces raisons, Unity IIe SCCM est le choix idéal pour tout type d'application de gravure ou de polissage.
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