Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe #9093721 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe etcher/asher est un procédé de gravure et de cendrage fiable, économique et très efficace qui est idéal pour le traitement au niveau des appareils, la gestion du rendement et l'innovation des produits. TEL Unity IIe est l'un des graveurs et cendres à plasma avancés TEL qui sont conçus pour fournir un traitement extrêmement précis. La chambre de procédé est classée pour la propreté de la classe 10 000 et équipée de fonctions avancées de contrôle de processus telles que la commutation automatique de gaz et la distribution de puissance auto-équilibrée pour assurer des performances de gravure et de cendrage supérieures. TOKYO ELECTRON Unity IIe utilise un procédé de gravure plasma à basse pression qui est idéal pour créer des caractéristiques de ratio d'aspect élevé. Il utilise un revêtement PECVD qui crée un revêtement conforme exact pour une meilleure précision de gravure et de cendrage. Pour une meilleure économie des processus, Unity IIe est capable de traiter de grandes plaquettes en une seule fois. Il utilise une taille de plaquette 8x300mm et est programmable en température pour une adhérence supérieure du substrat. TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe est également livré avec le chargement de la cassette de plaquettes multi-stations, la protection anti-panne auto-purge, et la technologie intuitive de chargement automatisé de plaquettes pour assurer une excellente manipulation et le débit de plaquettes. TEL Unity IIe dispose également de conduites de gaz de procédé configurables qui peuvent être utilisées pour la gravure, le cendrage ou une combinaison des deux procédés. Il dispose de cinq systèmes de distribution de gaz indépendants qui permettent des profils de gravure optimisés pour des résultats de gravure optimaux. De plus, TOKYO ELECTRON Unity IIe est équipé de recettes de processus personnalisables, de paramètres réglables et d'un contrôle de rétroaction en ligne avancé pour une précision de gravure supérieure. Unity IIe est conçu pour être utilisé dans diverses industries, telles que les semi-conducteurs, l'électronique grand public, MEMS, et la fabrication de LED. Grâce à ses puissantes capacités de gravure et d'ashing, TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe peut traiter rapidement 260-300 plaquettes par heure tout en obtenant une uniformité supérieure. Il est capable de contrôler entièrement les paramètres du processus pour garantir des résultats répétables et cohérents afin d'accroître la fiabilité et le rendement du produit.