Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD #9254149 à vendre en France
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ID: 9254149
Taille de la plaquette: 8"
Oxide etcher, 8"
Components:
Load Lock Module (LLM)
Transfer chamber
Pre aligner
(2) Process chambers
(3) Gate valves
(2) Bottom RF matchers
(2) Upper electrode cooling fans
(2) ESCs
(2) Baffle plates
(2) Shield rings
(2) Upper electrodes
(2) Pedestals
(2) Quartz insulators
Turbo molecular pump
Focus ring
Ceramic insulator
Quartz pipe
Display
Light tower
Pumps:
(2) Process chamber dry pumps
(2) Dry pumps racks
EBARA Load lock dry pump
EBARA Transfer chamber dry pump
(2) PC TMP Pumps missing
Main controllers:
(4) Hard Drive Disks (HDD)
(2) Control boards, AI/AO boards set
Big system control box
TC Controller box
Chillers:
SMC Dual chiller
SMC Single chiller
(4) Chiller hoses
Cables:
(5) Pump power cables
(4) Pump control cables
(6) Power cables
(3) Chiller control cables
(5) Remote pump cables
Interface cable
Gas box cable
AC Cable
(2) Gas boxes
(2) V-37 Valves
AC Power box: AC Distribution box
Foreline connecting pips.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD est un graveur/asher conçu pour assurer une production fiable et économique de composants microélectroniques. Cet outil est un équipement de processus multi-chambres capable de traiter plusieurs composants en une seule fois. Il est conçu pour effectuer des processus humides ou secs, et comprend la capacité d'appliquer la haute température et/ou la gravure sélective. Le système est programmé à l'aide d'un panneau de commande ou interface de panneau frontal, et possède plusieurs fonctionnalités de sécurité qui peuvent être programmées pour un fonctionnement automatisé. TEL Unity M 85 TD dispose d'un design multi-chambres avec une chambre principale et deux sous-chambres. Il est équipé d'une unité de distribution de gaz unique qui permet à l'opérateur de fournir avec précision les quantités de gaz correctes et les types appropriés pour chaque procédé traité. La machine dispose également d'outils de diagnostic avancés, qui permettent à l'opérateur de dépanner rapidement tout équipement défectueux. Il est également livré de série avec un outil de contrôle automatisé des processus (APCS) qui surveille en permanence les lectures des paramètres du processus pour s'assurer que les spécifications exactes sont maintenues. Ce graveur/asher a un niveau de puissance multi-gamme allant jusqu'à 25 W, permettant une grande variété d'opérations de précision. Il a une capacité de chauffage rapide qui permet des temps de traitement plus courts, et l'actif de contrôle thermique intégré contribue à assurer un fonctionnement cohérent et des résultats reproductibles. TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD est conçu pour travailler avec divers gaz spéciaux afin d'assurer un large éventail d'applications. Unity M 85 TD possède un certain nombre de caractéristiques de sécurité standard qui protègent l'opérateur, le modèle et le processus. Toutes les particules aéroportées sont éliminées par un équipement d'échappement intégré, et un matériau résistant à l'ESD (décharge électrostatique) est utilisé pour prévenir les blessures ou les dommages potentiels. Le système dispose également d'un filtre à air intégré, qui surveille en permanence la qualité de l'air et ajuste le processus en conséquence. TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD est un complément fiable et efficace à toute ligne de production. Il est conçu pour maximiser le débit et réduire les coûts, tout en assurant le produit fini de la plus haute qualité. Ses caractéristiques de sécurité avancées assurent la prévention des accidents et un processus de production continu. Ce graveur/asher est idéal pour des applications de précision, telles que les dispositifs semi-conducteurs, les écrans et la technologie à couches minces.
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