Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293654956 à vendre en France
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ID: 293654956
Etcher, 8"
(3) DRM Chambers
V2 Rack
Transfer system:
Transfer chamber
Cassette chamber
Pre-alignment unit
Transfer robot
Chamber accessories:
Dipole ring magnet
Rotation speed
Pressure control system
He cooling system
Fixed gap cylinder
RF System:
ENI GHW25A RF Generator
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
ENI MWD-25LD-06 RF Match
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
Gas delivery option:
SUS316L Piping
SUS Gasket
IGS Fitting
MEGA-MINI Valve
HORIBA SEC-Z512MGXC (IGS) Mass flow controller
End point system (302x):
Controller: 1x
Fibre: 1D80-005308-11
Lens: 1D80-004290-11
Remote:
10" Colour LCD display
Buzzer alarm
Lot end melody
AC Rack:
Machine on/off circuit
Interlock on/off circuit
EMG Off circuit
Hard disk: System HD, data HD
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump for process chamber
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump controller for process chamber
Power supply: 208 V ± 10%, 60 Hz.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M est un équipement de gravure haute performance idéal pour une utilisation dans une grande variété d'industries. Ce système utilise une gravure plasma à base de micro-ondes pour graver des matériaux tels que des plaquettes de silicium et d'autres substrats avec précision et vitesse. Il est capable de manipuler plusieurs couches à la fois et peut graver des pièces jusqu'à un maximum de 200 mm de diamètre. L'unité peut être utilisée pour le traitement par lots, ce qui permet la production rapide de produits à haut volume. Cet etcher utilise des signaux radio haute fréquence générés à l'intérieur de la chambre de procédé pour créer des plasmas avec une large gamme de caractéristiques. Ceci permet de graver à haute température et à haut débit. Le résultat est une gravure propre et très précise. En outre, l'etcher comprend une grande capacité de substrat pour des projets de plus grand volume. TEL Unity M dispose d'une architecture multi-chambres, qui permet de réaliser plusieurs couches de gravure en parallèle. Ceci fournit un processus de gravure haute vitesse et de haute qualité. De plus, la machine peut manipuler des matériaux allant de 4 à 200 microns d'épaisseur et peut graver à des températures allant jusqu'à 1000 ° C Le processus est également conçu pour être cohérent dynamiquement entre plusieurs composants d'outils. Ceci assure des résultats de gravure uniformes même lors de l'utilisation de plaquettes de matériaux et d'épaisseurs différents. D'autres caractéristiques de TOKYO ELECTRON UNITY-M comprennent une interface tactile facile à utiliser et une chambre d'exclusion de bord dédiée. Cela permet à l'utilisateur de créer des gravures sans exclusion de bord et d'autres artefacts. En outre, l'actif peut être équipé d'un moniteur de qualité automatique qui permet à l'utilisateur de surveiller la qualité de la gravure en temps réel. Cela offre un niveau supplémentaire de contrôle et d'assurance de la qualité. De plus, TOKYO ELECTRON Unity M est compatible avec un large éventail de substrats et de matériaux ainsi qu'une variété de procédés de dépôt. Dans l'ensemble, TEL UNITY-M est un modèle de gravure puissant idéal pour toute industrie. L'architecture multi-chambres de l'équipement permet de multiples couches de gravure en parallèle tandis que la gravure plasma à micro-ondes et la cohérence dynamique assurent les résultats de gravure les plus précis. En outre, le système est conçu pour une utilisation facile et comprend des fonctionnalités telles qu'une interface tactile intuitive et un moniteur de qualité automatique. En conséquence, UNITY-M est capable de processus de gravure et de dépôt rapides et précis.
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