Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 45D #293615959 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 45D est un graveur/asher conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce graveur/asher à procédé sec à chambre unique est adapté à la fois pour les lignes de production de masse et les applications de recherche et de développement. TEL Unity ME 45D peut graver une grande variété de matériaux, dont le silicium, l'oxyde, le nitrure, le poly-silicium et les métaux, avec un faible taux de perte ou d'absorption lors de la gravure. Le ME 45D est conçu avec une seule chambre, avec deux ensembles de têtes de douche et deux ensembles de supports de substrat. Cela permet de graver deux substrats en même temps. Il dispose également d'un système à vide élevé avec une pompe turbomoléculaire à trois étages pour une meilleure précision de gravure. Le graveur/asher est équipé d'un certain nombre d'unités de contrôle de processus qui lui permettent de maintenir les conditions précises nécessaires au processus de gravure. Le ME 45D est commandé par un panneau de commande monté verticalement, ce qui permet à l'opérateur d'ajuster le temps de gravure, la pression de gravure et d'autres paramètres pour obtenir des résultats de gravure précis. Le ME 45D est également équipé de systèmes de mélange de gaz et de diagnostic in situ pour surveiller le processus et s'assurer de l'exactitude du processus de gravure. Le système de mélange de gaz permet de contrôler avec précision les débits et les rapports des gaz utilisés lors de la gravure. Le ME 45D est également conçu avec des dispositifs de sécurité, y compris un détecteur de fuite de gaz inerte, une ventilation d'urgence et un système de détection de fuite. En outre, le ME 45D dispose d'une unité d'épurateur à haut rendement pour capturer les particules et les odeurs générées lors du processus de gravure. Le ME 45D est un graveur/asher à sec qui offre une large gamme de fonctions de gravure, de contrôle précis, de maintenance facile et de sécurité pour l'utilisateur. Cette combinaison assure qu'il est un graveur/asher idéal pour la fabrication de semi-conducteurs.