Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293610374 à vendre en France
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Vendu
ID: 293610374
Taille de la plaquette: 4"-8"
Style Vintage: 2013
Dielectric etcher, 4"-8"
(4) Dry pumps
Mainframe
DRM Process chamber
YASKAWA XU-BDB1300 Transfer robot
STP-A1303W1 Turbo pump
ENI GHW-25A RF Generator
Process gases: C4F8, O2, Ar, He, CHF3
RF Rack
AC Rack
Monitor
Part number / Description
1D10-150053-11 / Bottom electrode
1D10-204338-13 / Upper electrode
1D10-350791-11 / Focus ring
1D10-102848-13 / Plate baffle
1D10-315183-15 / Shield depo
1D05-300354-11 / Ring insulator
1D10-204418-12 / Cover bellow
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2013 vintage.
TEL Unity ME 85 est un équipement de gravure/cendres conçu pour traiter efficacement les plaquettes avec une variété de substrats. C'est l'un des systèmes de gravure/cendres les plus avancés et les plus fiables sur le marché, avec une taille de plaquette pouvant atteindre 10 pouces. Le système est équipé d'un graveur/cendres multi-chambres et multi-zones métal-oxyde-semiconducteur (MOS), permettant un niveau de contrôle impossible à atteindre avec d'autres types de systèmes. L'unité dispose également d'une chambre de diffusion et de dépôt avancée, qui permet un contrôle précis du processus de gravure/cendres et permet un traitement rapide et uniforme des plaquettes. De plus, TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 est équipé d'un chargeur automatique de plaquettes, permettant un chargement et un déchargement rapides et efficaces de la machine. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 utilise un outil avancé de contrôle d'impédance du plasma (PIC), fournissant un contrôle plus précis sur le plasma entraînant un traitement uniforme des gravures/cendres. En outre, l'actif dispose d'un modèle de refroidissement amélioré pour minimiser la variation de température des plaquettes, permettant des processus précis et reproductibles. Cet équipement de gravure/cendres offre également des recettes configurables avec PC GUI pour personnaliser rapidement les processus pour des besoins particuliers et dispose d'un système de limite thermique multicanal pour assurer un contrôle précis de la température et la cohérence. En plus du contrôle précis et de la précision du processus de gravure/cendres, TEL Unity ME 85 dispose également d'un débit élevé, lui permettant de traiter jusqu'à cinq plaquettes par minute. Cela rend l'unité idéale pour les applications de gravure/cendres à haut volume, car elle raccourcit les temps de cycle pour un débit et une productivité maximums. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 est une machine de gravure/cendres avancée qui combine un contrôle précis, un traitement uniforme et un débit élevé, ce qui en fait un outil attrayant pour toutes les applications de semi-conducteurs, en particulier celles qui nécessitent un traitement rapide et uniforme des gravures/cendres.
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