Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293648350 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 DRM est un graveur/asher avancé conçu pour les applications MEMS/NEMS et les emballages avancés. Il est en mesure de déposer plusieurs films d'épaisseurs différentes pour la fabrication d'une variété de dispositifs microélectroniques, y compris les dispositifs MEMS et NEMS. Le Unity ME 85 est un équipement modulaire qui peut être facilement modifié pour répondre à des besoins spécifiques du client, tels que le contrôle de pression et de température supplémentaires, les taux de dépôt de films personnalisés, et plus encore. Le système est équipé d'une unité de dérivation numérique du gaz révolutionnaire, d'un contrôle de température multi-étages et d'une alimentation haute fréquence. Cela permet à la machine de fournir des vitesses de dépôt de couches minces fiables et répétables et des caractéristiques de couches minces et des finitions de surface cohérentes. L'outil est équipé d'une fonction de dépôt ultra basse pression, ainsi que d'une fenêtre de préparation de surface plasma de grande surface qui permet le traitement du substrat avec une contamination minimale. L'actif dispose également d'un collecteur de distribution de gaz et d'un module électronique qui permet un contrôle précis de la pression de livraison de gaz et des débits. Le Unity ME 85 dispose également d'une véritable architecture de commande de mouvement à 4 axes qui facilite le dépôt de couches minces multicouches avec un contrôle précis des largeurs et de l'uniformité des films. De plus, un modèle de surveillance en temps réel affiche à la fois les conditions de processus et les caractéristiques du produit, ce qui permet aux opérateurs de réagir rapidement aux conditions changeantes. L'une des caractéristiques les plus innovantes de l'Unity ME 85 est son mode de gravure de couches minces propriétaire, qui permet une manipulation précise de l'épaisseur des couches minces de 10nm à 1000nm. Le système double source de plasma breveté de l'équipement offre une finition de surface très contournée, ainsi qu'un rapport d'aspect élevé lors de la gravure dans des matériaux difficiles. L'unité est également équipée d'une épuratrice à film qui assure que le produit de gravure est totalement exempt de particules de poussière qui pourraient être présentes. Le Unity ME 85 offre une solution idéale pour les applications de conditionnement avancées, offrant une répétabilité de haut débit et de processus sur une large gamme de substrats et de matériaux. L'outil est également conçu pour être conforme aux normes SEMI et ATRM, assurant la compatibilité avec une large gamme de procédés de couches minces.