Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 #9286040 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 est un équipement de graveur/asher de pointe conçu pour les processus de gravure et de cendrage. Le système est un Eller/Wet Etcher (EUE) de type Evolution Unit. L'EUE est une chambre de gravure et de cendrage à double face qui assure une uniformité grâce à un contrôle indépendant des gravures/cendres et une transition sans faille entre les deux. Le procédé de gravure utilise à la fois une fonction de retrait d'oxyde et une fonction anti-gravure, qui peuvent toutes deux être ajustées avec précision et précision pour des résultats de traitement optimaux. L'unité est compatible avec les plaquettes standard et à haut rapport d'aspect et peut supporter 75mm-125mm pour les applications ashing. Il est également pré-réglé avec des options de gravure à base de plasma- ou UV, ainsi que pour une gamme de gravure/chambre de cendres pour des rapports de taille de plaquettes. En plus de ses fonctionnalités de gravure et d'ashing, TEL Unity ME 85 offre une gamme d'autres fonctionnalités qui en font un choix idéal pour de nombreuses applications. Il a un verrouillage de charge pratique et RF ainsi que la capacité de contrôler la température, la polarisation DC, auto-corrects, et les diagnostics et alarmes à l'échelle de la machine. Il est également certifié pour 12 types de gaz différents pour la gravure, ainsi que pour diverses combinaisons d'oxydants et de non-oxydants. Il peut surveiller jusqu'à quatre gaz simultanément et est équipé de ports réglables pour les capteurs et les détecteurs, pour aider à maintenir le processus en bon état et efficace. L'outil est également soutenu par un réseau international de services afin que le service et la maintenance de ses composants puissent être effectués rapidement et commodément. Afin d'assurer le plus haut niveau de sécurité et de performance, TOKYO ELECTRON UNITY ME-85 est également certifié aux normes UL/CSA, CE et VDE. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME-85 est un atout fiable et efficace de graveur/asher qui fournit le haut niveau de précision requis pour une variété de processus. Ses caractéristiques sophistiquées, ses normes de sécurité et de performance complètes et ses protocoles pratiques de service et de maintenance en font un excellent choix pour toute application de gravure et de cueillette.