Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD #9117097 à vendre en France
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Vendu
ID: 9117097
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
System, 8"
Process type: Oxide
Wafer type: Notch
(3) Chambers
Chamber type: DRM
Main body type: SMIF
Interface type: SMIF
Robot fork type: Ceramic coating
Wafer clamp type: ESC
ESC Type: Ceramic
No EPD
ECC Rack: V-2
Monitor: Front
Signal tower: (4) Colors
Automation online: GEM
Area sensor type: Individual (2) area sensors
Includes:
Vacuum / RF Controller module
AC Power distribution: TEL (UM 4PC)
No Y2O3 Process kit
Transfer chamber:
C/C1 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C1 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
C/C2 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C2 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
T/C Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Transfer robot YASKAWA XU-RVM3800
Wafer alignment YASKAWA XU-AVP3700
C/C1 Controller YASKAWA XU-BDB14011
C/C2 Controller YASKAWA XU-BDB14012
Transfer interface box YASKAWA XU-BCB1600
Gate valve type VAT ROLLCAM
Process chambers (1,2,3):
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
CM1 250 mTorr MKS 627A-13614-S
CM2 10 Torr MKS 627A-14583
PCV Unit center 100 Torr MKS 640A-22936
PCV Unit edge 100 Torr MKS 649A-22016
APC V/V VAT 65044-PH52-0004
APC Con't VAT PB6 (in P/C Control Rack)
Turbo pump SEIKO SEIKI STP-A803C
Turbo con't SEIKO SEIKI STP-A803C
Pressure switch#1 MKS 51A52TGA2BA500
Pressure switch#2 MKS 51A31TGA2BA010
Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Ion gauge LEYBOLD 1TR100-T
RF Generator (Bottom): ENI GHW-25
RF Matcher (Bottom): ENI MWD-25LD
DC P/S: TEL
HV-DC P/S: TEL
Lift pin type: TEL Stepping motor drive
GAP Type: Pancake air cylinder
Process chamber 2:
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
Electrical configuration:
ECC:
Slot#0 TEB408-11 HDMC
Slot#1 SVA011
Slot#2 SVA011
Slot#3 TEB107_ECS5
Slot#4 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#5 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#6 Blank
Slot#7 TEB001-12_GHUB
Slot#8 Print board
Slot#9 Blank
Slot#10 Blank
Slot#11 Blank
Slot#12 TVB0008-2_VMIF
ECC P/S ECC DC Power supply module
HDD#1 TEB407 HDD Base
HDD#2 TEB407 HDD Base
Transfer chamber:
Slot#1 Blank
Slot#2 TYB135 / OPE
Slot#4 TYB134 / ILK
Slot#5 TYB112 / DIO#1
Slot#3 TYB112 / DIO#2
Slot#6 TYB112 / DIO#3
Slot#7 TYB111 / MAIO
Slot#8 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#9 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#10 Blank
Slot#12 YE P/A ( XU-SVA0100C)
T/C P/S T/C DC Power supply
Process chambers (1,2,3):
Slot#1 APC / PB-6
Slot#2 Blank
Slot#3 TYB112 / DIO
Slot#4 TYB111 / MAIO
Slot#5 Blank
Slot#6 TYB121 / COM#1
Slot#7 TEMP / REX-B860-CS2
Does not include:
Pumps
Chillers
SMIF Loaders: LPT2200
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 8555 DDD, également connu comme un graveur ou asher, est un outil spécialisé utilisé pour une grande variété de tâches par les professionnels de l'électronique. Il est conçu pour déposer avec précision une variété de matériaux sur la surface d'un substrat. Ses capacités en font un outil précieux pour divers processus, y compris la gravure, le dépôt, la lithographie et l'assemblage. Le dispositif se compose d'une chambre en acier inoxydable, d'un plateau tournant pour le positionnement et le transport des substrats, d'un régulateur de débit massique, d'un collecteur de gaz et d'un système de chauffage. Quant aux spécifications techniques, l'Unity ME 8555 dispose d'une zone de travail avec un support de substrat de 400x400mm. En outre, il a une capacité de gravure des substrats jusqu'à une épaisseur de 0,5 mm. Avec cette configuration, l'utilisateur peut graver des substrats de divers matériaux tels que le cuivre, le silicium, l'aluminium et l'acier inoxydable. L'appareil est extrêmement facile à utiliser grâce à son interface graphique robuste. Il peut facilement être programmé pour donner les résultats souhaités selon les exigences matérielles. L'appareil est intégré avec une fonction auto-recette intégrée qui permet à l'utilisateur de stocker un nombre illimité de recettes de gravure. De plus, il dispose d'une caméra intégrée qui permet la surveillance vidéo de l'avancement de la gravure, aidant ainsi l'utilisateur à gérer le processus. En passant, l'etcher dispose également d'un logiciel qui permet à l'utilisateur de visualiser les données après le processus de gravure. Ce logiciel d'analyse de gravure intégrée comprend une variété d'outils tels que la vitesse de gravure, la mesure de la largeur de ligne, le niveau de focalisation et la rugosité de surface. Toutes ces données aident l'utilisateur à créer des profils de gravure et à modifier le processus selon les résultats souhaités. TEL Unity ME 8555 DDD est une machine incroyablement fiable et durable. Il est conçu pour un entretien facile et le remplacement des pièces sans aucune intervention. Avec de multiples capacités de gravure des types de matériaux, l'graveur est adapté à une gamme de procédés et d'applications. Ses fonctionnalités et capacités étendues en font un choix idéal pour de nombreuses applications, de l'électronique grand public au développement automobile.
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