Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity SP #9284470 à vendre en France
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ID: 9284470
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
System, 8"
(2) CVD Chambers
VME Controller missing
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity SP est un graveur/asher de pointe entièrement automatisé conçu pour produire des résultats de gravure de haute qualité avec un minimum de temps et d'effort. L'équipement polyvalent est composé de l'unité de gravure principale et d'une chambre de pré-gravure en acier. L'unité principale de graveur dispose d'une zone chaude indépendante avec température réglable et une chambre de processus à cadre ouvert pour faciliter l'échange rapide des plaquettes. La chambre de pré-gravure est équipée d'une pompe à haut débit, capable d'atteindre des vitesses de gravure élevées et des débits importants. TEL Unity SP a à la fois des modes de fonctionnement manuel et automatisé, fournissant un contrôle complet des processus de gravure. Un système de contrôle, avec interface tactile et PC, garantit une grande précision de tous les paramètres de gravure. Le vide est fourni par une pompe turbomoléculaire à haut rendement, permettant un environnement de gravure propre et rapide. Des dispositifs de sécurité avancés, tels que les alarmes de température d'échappement et de protection, sont également présents dans TOKYO ELECTRON Unity SP. Que vous ayez besoin d'une gravure sèche ou humide, les systèmes sont très efficaces, homogènes et répétables. Unity SP est capable de graver les substrats les plus complexes, des rainures nanométriques aux substrats entiers, sans avoir besoin d'équipements supplémentaires. De plus, son unité de climatisation avancée permet une gravure à basse température des matériaux et substrats sensibles avec une grande précision. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Unity SP fournit des pompes verticales avancées et de recirculation pour une gravure efficace et uniforme avec une formation minimale des bords. Les pompes assurent une distribution uniforme des produits chimiques de gravure et des déchets chimiques faibles, fournissant un niveau élevé de résultats de gravure. Une chambre extérieure fournit séquentiellement des gaz de gravure à la chambre de procédé et évacue la chambre de procédé lors de la gravure. Dans l'ensemble, TEL Unity SP etcher/asher est la machine la plus avancée conçue pour fournir les résultats de gravure les plus précis disponibles sur le marché. Sa conception riche en fonctionnalités permet un fonctionnement facile, rapide et efficace tout en fournissant des résultats de gravure cohérents, propres et de haute performance.
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