Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI #293643508 à vendre en France

TEL Unity Ver.II 65DI est un graveur/asher très avancé conçu pour la gravure et la cueillette optimales des plaquettes utilisées dans la fabrication des semi-conducteurs. Il est capable de manipuler une large gamme de tailles de plaquettes, ce qui en fait une solution polyvalente et efficace pour les tâches de gravure et d'ashing. La taille maximale du substrat TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI est de 6 pouces (150 mm). Il supporte les températures du substrat jusqu'à 1150 ° C et comprend un étage de portage d'air qui permet une gravure et une cale uniformes et répétables des plaquettes. Il existe un équipement de vidéosurveillance optique en temps réel qui permet d'observer le processus de gravure et d'ashing, assurant l'assurance de la qualité. Le système de moniteur couplé à l'unité de charge automatique facilite la répétition, l'exécution et la surveillance des processus avec précision. Le processus de gravure/ashing est géré par une paire d'auto-positionneurs et de porte EGA. La grille EGA est capable de contrôler le flux, la pression et la profondeur de gravure, permettant des résultats plus précis. De plus, une source d'ions optionnelle peut être ajoutée à l'unité, permettant une gravure et une cueillette plus rapides des substrats. L'unité Ver.II 65DI etcher/asher est conçu pour un débit et une efficacité élevés. Il soutient un processus économique de gravure du temps, réduisant le temps de processus en augmentant la gravure et la vitesse de cueillette. De plus, un large éventail de gaz, y compris le bromure d'hydrogène (HBr) et le chlore (Cl2), peuvent être utilisés pour produire un profil de gravure très contrôlable et cohérent. L'unité peut être étendue avec une variété d'options, ce qui la rend adaptée aux applications de R&D et de production. TEL/TOKYO ELECTRON Unity Ver.69DI etcher/asher est une solution efficace, rapide et précise pour la gravure et la cueillette des plaquettes et des substrats. Sa nature polyvalente et sa machine de contrôle automatique en font un excellent choix pour tout processus de gravure et de cueillette.