Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9142639 à vendre en France
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ID: 9142639
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Plasma CVD system, 8"
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity est un graveur/asher de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des performances supérieures de gravure et de cendrage de haute précision pour les technologies de semi-conducteurs sophistiquées d'aujourd'hui. La plate-forme est basée sur une conception modulaire, permettant de la configurer avec une large gamme d'options, ce qui la rend adaptée à la plupart des processus semi-conducteurs. L'équipement dispose d'une gamme complète de procédés tels que la gravure sèche, la gravure humide, l'ashing, le tamponnage et la gravure au molybdène, et intègre des technologies avancées de gravure de films pour des procédés plus fins. Il est également conçu pour offrir une haute précision, des tolérances serrées, et une précision supérieure sur tous les processus de gravure. La conception du système permet d'assurer un fonctionnement à la fois efficace et fiable. Le graveur/asher comprend une source de CER haute densité, qui aide à minimiser l'exposition à des champs électriques dangereux, et est également équipé d'une unité de source de plasma complète pour des performances de gravure maximales, y compris la gestion de l'optimisation du plasma. La machine offre également une grande variété d'options de processus, telles que le réglage des valeurs de contrôle de la puissance et du gaz, les mélanges sous vide et la gestion du rapport substrat/gaz. Cela garantit des opérations de gravure et de cendrage de haute précision, quelle que soit la complexité du processus. En outre, l'outil est compatible avec la maintenance et évolutif. L'utilisateur peut facilement ajouter de nouveaux processus et composants à leur configuration, comme changer le type de source ECR, ou mettre à niveau l'actif avec les derniers logiciels et processeurs. Il offre également une capacité d'accès à distance, permettant à l'utilisateur d'accéder aux données techniques, aux processus, aux bases de données d'information et aux manuels de service du modèle depuis plusieurs endroits. TEL Unity est un outil puissant pour fabriquer les composants semi-conducteurs les plus fins, offrant des performances, une fiabilité, une évolutivité et un prix abordables supérieurs. Ses fonctionnalités avancées, associées à un contrôle complet des processus, en font la solution idéale pour les procédés semi-conducteurs sophistiqués d'aujourd'hui.
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