Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9146219 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Unity est un équipement de gravure critique utilisé dans le processus semi-conducteur. Il est équipé d'un asher à plasma sec monobloc capable de réaliser des projets avancés de gravure et de dépôt de matériaux. Le système dispose d'une nouvelle conception révolutionnaire améliorée qui met l'accent sur une meilleure performance, fiabilité et productivité. L'unité de gravure intègre plusieurs processus dans une seule machine modulaire, réalisant un processus d'échange chimique efficace et automatique. TEL Unity est basé sur une chambre à vide dont l'intérieur est fait d'un matériau propre et inerte. Une atmosphère évacuée est établie dans la chambre par une pompe turbomoléculaire reliée à l'arrière. A l'intérieur, un porte-électrode mobile maintient les échantillons en place. Un PMAC (Power Monitor and Control) permet un contrôle précis de la tension, du courant et de la modulation de fréquence tout au long du processus de gravure. Le processus est contrôlé par une interface utilisateur à écran tactile avec une bibliothèque de processus embarquée avec plus de 15 recettes de processus. L'outil est conforme aux normes SEMI, et l'interface est compatible avec les systèmes d'automatisation du client. Un mode de fonctionnement ECO permet d'assurer un temps et un coût de traitement optimaux. TOKYO ELECTRON Unity possède une variété de caractéristiques qui rendent l'actif fiable et efficace. La technologie de conditionnement automatique élimine la planification manuelle en contrôlant le conditionnement en fonction des paramètres définis par l'utilisateur. De plus, le mode de gravure des plaquettes en silicium polycristallin permet une anisotropie élevée et un contrôle de profil extrêmement serré. L'homogénéité des résultats de gravure est un aspect leader de l'industrie. Même dans les géométries complexes, le contrôle du profil et le parallélisme des caractéristiques restent serrés et conformes aux exigences. L'unité est facile à maintenir, avec des consommables rapidement échangeables et des capacités de dépannage à distance. Le modèle de gravure est conçu pour la répétabilité et la maintenabilité, de sorte que les utilisateurs sont en mesure de reproduire les mêmes conditions de gravure exactes sur plusieurs plaquettes. De plus, les utilisateurs sont alertés de tout problème via l'équipement de surveillance du contrôleur de l'AMCC. Grâce au système de rétroaction du processus, l'utilisateur peut suivre la recette de gravure en temps réel. TEL/TOKYO ELECTRON Unity est une unité de gravure puissante et polyvalente idéale pour les applications industrielles et commerciales. Il offre les plus hauts niveaux de performance, de fiabilité et de rentabilité pour les projets avancés de gravure et de dépôt. Il est conçu avec les dernières technologies, de sorte que les utilisateurs peuvent être sûrs que leur processus de gravure est répétable et que les résultats sont uniformes et optimisés.