Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9176469 à vendre en France
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Vendu
ID: 9176469
Ti/TiN CVD Cluster system.
Water pump
Process module 4 trap
Water flow box
Main body
Gas box
Cooling & process module 6 pump rack
UPS Process module 3 trap rack
Module rack
Chiller HIA
Process module 4 trap rack
Transfer & process module 3
(4) Pump racks
Gas Injectors
Signal cables
Tables
Sub-assemblies
Main power distribution
Utility water air rack
Unity controller
Chiller
(4) Pumps
UPS
Valves
Transformers.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity est un équipement de gravure humide et de cendrage entièrement intégré. Ce graveur et asher leader de l'industrie fournit aux utilisateurs un traitement hautement fiable avec une stabilité durable et de faibles exigences d'entretien. TEL Unity utilise une technologie de gravure humide haut de gamme pour traiter un large éventail de substrats et de surfaces de matériaux. Le procédé de gravure par voie humide utilise un milieu de gravure ionisé, tel que de l'eau pure, des solutions chimiques aqueuses ou des agents de gravure vapeur, pour graver et éliminer efficacement les matériaux indésirables pour le nettoyage de surface, le brasage et/ou le transfert de couche. Le processus d'ashing utilise un procédé de gravure sèche pour éliminer les couches de matériau pour créer des motifs et des caractéristiques. TOKYO ELECTRON Unity utilise une gamme robuste de tailles de chambres de traitement, de petits systèmes de référence à de grands systèmes de production, donnant aux utilisateurs une large gamme de capacités pour différents processus. La machine est également conçue pour être compatible avec les différents gaz de procédé et les vecteurs chimiques, permettant l'utilisation de la gravure humide et sèche. L'outil Unity est bien équipé avec des caractéristiques de sécurité avancées, telles qu'un ultrafiltre né à l'air, un filtre chimique et un système d'épuration chimique. De plus, le modèle est conforme aux normes de protection SEMI pour les opérations dangereuses. TEL/TOKYO ELECTRON Unity dispose d'une interface utilisateur graphique intégrée (interface graphique) pour une configuration et un contrôle faciles, y compris l'entrée de flux de processus et de paramètres, la gestion de programmes et l'affichage de données. Le système intègre également la gestion des recettes de processus et l'archivage des données pour améliorer la traçabilité. Son affichage intégré permet aux utilisateurs de suivre l'avancement de chaque processus en temps réel et d'ajuster les paramètres en conséquence. L'unité TEL Unity est également capable d'interfacer avec divers systèmes externes, tels que les systèmes de suivi et de contrôle des processus, afin d'accroître l'automatisation et l'efficacité. La machine TOKYO ELECTRON Unity est une solution idéale pour les utilisateurs qui cherchent à obtenir un traitement de haute performance, fiable et de faible entretien pour diverses opérations de gravure à sec et humide. Avec ses caractéristiques de sécurité avancées, sa construction robuste et son interface graphique conviviale, l'outil Unity est devenu un choix populaire pour le traitement des semi-conducteurs, du stockage de données et des matériaux avancés.
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