Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9298719 à vendre en France

ID: 9298719
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
Etcher, 12" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300 est un graveur/asher avancé conçu pour des applications précises et performantes dans la production de plaquettes semi-conductrices. L'équipement TEL Tornado 300 est un système de gravure à haut débit qui combine haute vitesse et haut débit et des niveaux de qualité maximum. NEXX Tornado 300 utilise une chambre de procédé capable de délivrer des densités de puissance élevées dans un environnement contrôlé pour la formation de caractéristiques de pointe. La chambre de procédé est construite à partir de matériaux entièrement céramiques et l'unité avancée de distribution multiple de gaz dispose de la dernière en haute vitesse, plénums intégrés et haute précision des assemblages d'introduction de gaz inerte. TOKYO ELECTRON La machine avancée Tornado 300 de contrôle de processus semi-conducteurs permet des performances rapides sur une large gamme de processus de gravure. La chambre de gravure est très efficace avec un temps de cycle impressionnant de 15 secondes. Ce temps de cycle aide à diminuer les variations de tranche à tranche et fournit une superbe production en temps réel grâce au temps de cycle rapide. Cet outil de gravure comprend également des alimentations RF innovantes ainsi que des contrôleurs de processus. L'alimentation RF assure un flux de processus constant et fournit également une uniformité supérieure ainsi que des niveaux de puissance contrôlables. Le contrôleur RF offre des paramètres précis de contrôle de processus qui permettent un contrôle de temps de cycle de haute précision. L'actif dispose également d'un contrôleur de processus programmable avancé qui offre des capacités de programmation précises et flexibles telles que la température réglable, la pression et les paramètres de processus. Ce modèle peut également être facilement programmé pour des paramètres de contrôle de processus de haute précision. Son mode multi-oscillateur simultané permet de maintenir l'uniformité sur toute la surface de la plaquette. La Tornado 300 offre des performances exceptionnelles avec un entretien minimal, et son équipement avancé de livraison de gaz optimise le débit de gaz pour une efficacité et une uniformité maximales lors des opérations de gravure. L'alimentation avancée en gaz supporte une large gamme de gaz et peut être facilement adaptée à différents procédés. Le système utilise des méthodes de gravure sèche et humide pour répondre aux besoins des clients. TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300 est une solution de graveur/asher fiable et puissante qui aide à améliorer le rendement des plaquettes, le temps de traitement et les performances du procédé. Cette unité est hautement configurable pour une gamme d'exigences de gravure et d'ashing, ce qui en fait un choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs.
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