Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316187 à vendre en France
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ID: 9316187
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
EDWARDS TDV4 System
(2) Traps
Cable
Panel
Accessories.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity est une machine de gravure/développement conçue pour produire des plaquettes entièrement scellées. Cet outil est utilisé pour modeler, graver et déposer des matériaux pour le polissage chimique et mécanique. Il est capable de fournir aux plaquettes une surface plane adaptée à la création de dispositifs semi-conducteurs avancés. La machine est capable de produire des motifs à haute résolution, permettant le développement de nouveaux dispositifs. Il supporte à la fois la gravure humide et sèche, et son mécanisme de gravure permet un contrôle précis de la forme et de l'épaisseur des couches de matériau dans les plaquettes traitées. En outre, sa grande chambre permet HighThrough-put. TEL Unity etcher est composé d'une chambre de gravure principale et d'une chambre de pré-gravure, qui permettent d'effectuer plusieurs opérations dans le même cycle. A l'intérieur de la chambre principale, des ions sont injectés sur le substrat pour le graver. La chambre principale est également équipée d'un bras robot mobile, qui sert à transférer le substrat d'une chambre à l'autre, y compris la chambre de pré-gravure. Le substrat est ensuite chargé dans la chambre principale, où se déroule le processus de gravure. La gravure commence par l'introduction d'un mélange gazeux, tel que CF4, dans la chambre de gravure. Le mélange gazeux est ensuite ionisé pour se briser en ions qui sont ensuite dirigés sur le substrat. Les ions réagissent avec le substrat pour le graver et le façonner. Le procédé peut être contrôlé de manière à ce que la profondeur de gravure et l'angle latéral soient précis. Une fois la gravure terminée, on chasse la solution de gravure hors de la chambre principale. La plaquette est ensuite transférée dans une chambre de post-gravure, utilisée pour des procédés en aval, tels que le polissage chimico-mécanique et la bande de résiste. TOKYO ELECTRON Unity etcher est un outil idéal pour le développement de dispositifs semi-conducteurs, car il fournit des capacités de gravure de précision et un haut de gamme. Sa capacité à produire des motifs précis et précis et des types de couches en font un choix idéal pour développer des dispositifs de pointe.
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