Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244886 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Le harc Vigus est un type de graveur/asher utilisé pour la gravure et le nettoyage extrêmement précis de substrats de valeur tels que les semi-conducteurs et autres matériaux à couches minces. TEL Vigus harc est un système à base humide avec une conception en ligne, assurant des vitesses de débit plus élevées, des fenêtres de traitement plus larges et une meilleure uniformité. La machine est conçue avec une chambre de gravure à double vide, qui permet une flexibilité maximale lors des opérations de gravure/nettoyage avec isolation complète de chaque chambre de procédé. Ceci garantit que les vapeurs d'une opération ne sont pas reportées sur l'autre, en veillant à ce que les substrats délicats ne soient pas affectés par des produits chimiques ou des vapeurs générées lors du traitement dans l'autre chambre. TOKYO ELECTRON Le harc Vigus a également un design directionnel-axial unique, qui garantit des rendements plus élevés en se concentrant sur l'uniformité, permettant d'exécuter les processus avec précision. Ceci est réalisé par écoulement dirigé du liquide de procédé et gaz de gravure selon l'axe central de la chambre. Le substrat est alors positionné au centre de la chambre pour une homogénéité maximale et l'application des procédés de gravure ou de nettoyage. La machine est équipée d'une variété de caractéristiques avancées pour son fonctionnement et sa sécurité, telles qu'une unité de distribution de gaz du réacteur, un contrôle de température, des vannes actionnées électroniquement, un contrôle de gaz inerte avec un épurateur externe et un système de vide haute performance. Les portes électriques imbriquées sur la machine permettent d'assurer un environnement de fonctionnement sûr et sécurisé. En résumé, Vigus harc est un graveur/asher sophistiqué utilisé pour la gravure précise et le nettoyage de substrats délicats tels que les semi-conducteurs. Sa nouvelle chambre de gravure à double vide, sa conception directionnelle-axiale et ses caractéristiques avancées en font un outil inestimable pour des opérations de gravure et de nettoyage rapides, uniformes et sûres.