Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Vigus Nest #293585745 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest est un outil de gravure à sec conçu pour le traitement de plaquettes pour des applications dans les industries semi-conductrices et photovoltaïques. C'est un outil de haute performance conçu pour les processus secs comme la gravure et le dépôt. TEL Vigus Nest est capable de graver du silicium, du germanium, du silicium polycristallin et divers autres matériaux. L'outil est équipé de deux chambres principales dont la chambre de gravure principale et la chambre de serrure. La chambre principale contient les plateaux chauffants de résistance supérieure et inférieure, tandis que la chambre à loadlock comporte un seul plateau chauffant de résistance. L'unité de platine chauffante peut être utilisée pour graver les deux côtés d'une plaquette dans un processus par lots, augmentant le débit. Ce système est également capable de contrôler la température et la stabilité du substrat pour obtenir des résultats reproductibles. TOKYO ELECTRON Vigus Nest utilise également un plasmatron RF multi-étages, multi-zone, équipé d'un processeur de contrôle indépendant, permettant un contrôle précis de la densité de puissance du plasma et des conditions de gravure. L'outil dispose d'un total de huit plasmatrons RF, avec une puissance maximale de 25kW. Il dispose également de trois injecteurs de gaz qui peuvent être actionnés en mode impulsionnel, à débit constant et en mode de contrôle de débit massique en boucle fermée. Cela permet une flexibilité dans la conception des processus de gravure pour obtenir des résultats optimaux. L'outil est également livré avec un logiciel pour le développement de recettes, le suivi des performances et le diagnostic du système d'exploitation, permettant aux utilisateurs de maximiser les capacités de Vigus Nest. Le logiciel permet une programmation facile pour des processus de gravure même complexes et fournit une maintenance complète des données pour une référence facile. Les utilisateurs peuvent également suivre les données de gravure et d'autres paramètres de processus, fournissant des informations précieuses et des commentaires pour optimiser le processus de gravure. Globalement, TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest est un outil de gravure polyvalent qui convient à un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs et photovoltaïques. Il offre un excellent contrôle et répétabilité pour permettre des processus de gravure précis avec un débit élevé. Le logiciel complet fournit une plate-forme complète pour l'optimisation et la maintenance des données pour aider les utilisateurs à obtenir les meilleurs résultats.