Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Vigus QN #293666858 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus QN est un équipement de graveur conçu pour le traitement avancé des dispositifs semi-conducteurs. Il est basé sur la méthode de lithographie en écriture directe TEL VIGUS, et est équipé d'une variété de procédés, y compris des opérations de gravure à sec, de brasage et de revêtement monobloc. Le système est conçu pour effectuer une large gamme d'opérations de gravure de précision sur une grande variété de substrats, tels que le silicium, l'acier inoxydable, les matériaux complexes, et d'autres. Le procédé avancé de lithographie en écriture directe utilise le faisceau d'électrons pour créer des motifs très précis, reproductibles et hautement configurables sur le substrat. Ceci offre une précision et une répétabilité exceptionnelles, même à des rapports d'aspect très élevés. TEL Vigus QN est conçu avec un grand générateur à 4 voies pour permettre un débit à grande vitesse. Ceci permet une gravure simultanée de différents substrats, ce qui augmente la productivité. Il est également conçu avec une source de faisceau ionique focalisé (FIB) pour fournir une plus grande précision de gravure et peut être utilisé pour une variété de modules de post-traitement de sites tels que le dépôt, la gravure et les couches sacrificielles. TOKYO ELECTRON Vigus QN comprend également une gamme de fonctionnalités pour améliorer le contrôle des processus de gravure. Il s'agit notamment d'une unité de contrôle de pression précise, d'une machine à vide robuste, d'un outil de contrôle de la température et d'un outil de surveillance en circuit fermé pour assurer un résultat de gravure uniforme sur différents substrats. Le modèle comprend également une gamme de solutions matérielles et logicielles pour faciliter l'analyse des données, l'examen et la prise de décisions. En résumé, Vigus QN est un équipement de graveur avancé conçu pour fournir des capacités de gravure de précision pour un large éventail de substrats. Il utilise la lithographie en écriture directe, permettant des motifs précis, répétables et hautement configurables. Il est équipé de fonctionnalités avancées pour obtenir une gravure de haute précision, ainsi que d'une variété d'autres outils et fonctions pour assurer un fonctionnement efficace et fiable.