Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293829838 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus, produit par le premier fabricant japonais de machines de gravure et de cendrage, est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour les procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce système se compose de deux modules : un collecteur à vide et une unité de chauffage/guidage. Le collecteur de vide comprend une chambre à vide, qui contient un réseau de buses de gaz de procédé, et une unité de vide, qui assure le contrôle précis de la pression et du gaz de fond dans la chambre. L'unité de chauffage/guidage se compose d'un chauffage haute performance et d'un étage de plaquette pour guider et contrôler précisément la plaquette pendant la gravure et la cueillette. Ces deux modules produisent un environnement de gravure/cueillette fiable et répétable qui assure des rendements élevés. TEL Vigus offre un taux de gravure élevé et des résultats de nettoyage uniformes, permettant un traitement semi-conducteur avancé. Sa conception permet de déposer des films d'oxyde et de nitrure de haute qualité, d'accéder à des crevasses serrées dans des circuits à petit pas et de fournir des cendres de haute qualité. Cette machine flexible accueille des substrats de différentes tailles, des plaquettes de 200mm aux puces ultra-petites. TOKYO ELECTRON Vigus assure également la surveillance en temps réel de la température de surface de la plaquette et des taux de gravure/cendrage. Il comprend également un outil de contrôle et d'analyse pour surveiller les paramètres du processus, et un contrôle amélioré du processus pour le fonctionnement automatisé. Cela garantit des résultats de processus exacts. Vigus offre un design de chambre d'anode et de cathode capable de supporter une gravure avancée par faisceau d'ions et une cendre plasma haute densité. Il offre une excellente uniformité sur les différentes tailles de substrat, permettant un contrôle serré des processus. Il supporte également une gamme de procédés de fabrication variés, y compris des films secs résistant au décapage, à la surgravure et à la gravure de lignes métalliques. De plus, ses caractéristiques de sécurité assurent la cohérence et la fiabilité des opérations, contribuant ainsi à protéger le contrôle des processus. TEL/TOKYO ELECTRON Vigus est utilisé dans un large éventail d'industries, y compris les semi-conducteurs, la nanotechnologie et la biotechnologie. Cet atout graveur-asher produit d'excellents résultats de gravure et ashing, offrant aux utilisateurs des rendements et une efficacité de processus plus élevés. Sa fiabilité et ses caractéristiques de sécurité en font un choix idéal pour une grande variété d'applications.