Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9235079 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus est un graveur ou asher qui offre des performances optimales, un contrôle de précision et une application polyvalente en combinant des concepts avancés de gravure/ashing avec une variété d'innovations technologiques de TEL. La plate-forme de Tel Vigus etcher se compose d'un cadre de base, d'une chambre à vide, d'une chambre de gravure et d'une unité de commande. Le cadre de base abrite la chambre et l'unité de commande et offre une stabilité mécanique et une fondation robuste. Les chambres sont conçues pour un contrôle précis de la température et de la pression et pour assurer un traitement précis, uniforme et reproductible des gravures/cendres. L'unité de contrôle contient une pompe à vide, un régulateur de température, des systèmes de surveillance du processus et des recettes, ainsi qu'un PLC pour contrôler les paramètres du processus et l'alimentation de l'etcher. TOKYO ELECTRON Vigus dispose de 6 gaz de procédé, qui peuvent être livrés à la chambre de procédé avec des débits, des vitesses et des pressions précises. Ceci permet de contrôler avec précision le traitement gravure/cendres et d'obtenir une homogénéité et une répétabilité étroites lors du traitement simultané de plusieurs plaquettes. Un viseur en quartz est prévu pour l'inspection visuelle du procédé. Vigus intègre également de nombreux processus et fonctionnalités supplémentaires. Pour assurer la répétabilité du processus, un mécanisme d'empilement pour le stockage, le chargement et le déchargement des plaquettes est disponible. Les capacités de métrologie in situ permettent un contrôle précis des processus, sans métrologie externe supplémentaire. Les recettes de processus peuvent être rapidement ajustées et transmises à partir d'un PC via une interface RS232C. La chambre à vide de TEL/TOKYO ELECTRON Vigus est équipée d'une pompe différentielle. Cela permet des temps de pompage rapides et un environnement très stable et basse pression. La chambre environnementale peut accueillir un maximum de 200 mm de substrats, et une Grande Plaque (400mm) en option peut être ajoutée. TEL Vigus dispose ainsi de la flexibilité nécessaire pour traiter une large gamme de substrats. TOKYO ELECTRON Vigus est un graveur/asher fiable et précis capable de traiter un large éventail de substrats. Il offre un haut degré de contrôle et d'uniformité des processus, permettant aux utilisateurs d'atteindre les résultats de processus souhaités et reproductibles.