Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9270936 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus est un graveur/asher de pointe utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la gravure de précision, la mise en forme et la gravure de silicium et d'autres matériaux. Cet équipement de haute technologie est basé sur plusieurs technologies clés, ce qui lui permet d'offrir une précision et une répétabilité supérieures. Son processus de gravure avancé fait appel à un équipement de contrôle en boucle fermée qui surveille et ajuste précisément les dimensions des motifs gravés. TEL Vigus offre un ensemble polyvalent de chambres de gravure et d'étages de substrat, qui permet de créer et de graver des éléments complexes tels que des trous traversants, des capots BGA et des composants épais. Cette capacité à graver avec précision les caractéristiques précises permet aux fabricants de réduire significativement la variabilité des procédés et les pertes de rendement. De plus, l'optique avancée de TOKYO ELECTRON Vigus réduit les sous-produits de gravure en réduisant l'exposition au faisceau. Vigus est équipé de systèmes de distribution de gaz qui fournissent différents gaz pour la gravure et la couverture latérale. Ce système permet de terminer l'étape de gravure sans interruption, en réduisant le temps de réaction et en optimisant l'uniformité du motif de gravure. Cet etcher peut également sortir plusieurs modes de balayage, pour permettre un contrôle précis de la vitesse de gravure sur une large gamme de paramètres. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON Vigus propose une technologie à plasma à couplage capacitif (CCPMA), réglant la puissance de gravure indépendamment, en fonction du type de matériau de plaquette utilisé. TEL Vigus est également conçu pour la sécurité et la stabilité. L'unité de contrôle avancée dispose d'une machine d'autodiagnostic qui vérifie les erreurs de procédure, afin d'éviter d'éventuels dommages à l'outil. De plus, un atout de sécurité intégré garantit que l'etcher reste toujours dans les paramètres assignés, même avec de légères modifications. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Vigus est un graveur/asher avancé qui offre une large gamme de fonctionnalités et de capacités pour la production de semi-conducteurs. Sa technologie de gravure avancée permet un contrôle précis du processus de gravure, tandis que son modèle à double gaz réduit le temps de réaction et de gravure. Et les systèmes de sécurité intégrés assurent que l'équipement reste stable et fiable dans les environnements de production de semi-conducteurs les plus exigeants.