Occasion TOKYO OKA / TOK TCE-7822 #293625343 à vendre en France

TOKYO OKA/TOK TCE-7822 est un graveur/asher haute performance conçu pour une excellente performance et fiabilité dans une gamme d'environnements d'application. Cette unité est bien adaptée pour les procédés de gravure et de cueillette de production de volume moyen à élevé, y compris en laboratoire et dans des environnements industriels. L'équipement comprend une colonne de graveur/asher puissant avec une hauteur réglable pour un contrôle optimal du processus. Cette colonne est montée sur un support à lit plein, qui assure également un indexage rotatif pour la surveillance des temps de gravure. La colonne est commandée par un moteur pas à pas, permettant des réglages précis et précis en temps de gravure, température et pression. Le système comprend également un réservoir à vide de grande capacité pour la récupération efficace des résidus de gravure et d'aspiration. TOK TCE-7822 est conçu pour permettre un certain nombre de processus avancés de gravure et d'ashing. L'unité est capable de traiter plusieurs substrats, et peut être adaptée à une variété de formes de gravure, y compris les tranchées, via la gravure, les trous de contact, la gravure de rapport d'aspect (AR), et la gravure de fenêtre. La taille de la fenêtre de gravure peut varier de 0,1 à 200 µm. Pour optimiser la précision de gravure, la machine peut être ajustée pour incorporer des temps de gravure anisotropes variables et des profondeurs de gravure variables (DOE). TOKYO OKA TCE-7822 est compatible avec un certain nombre de gaz et de réactifs, permettant une utilisation dans une variété de procédés. Les gaz de gravure comprennent l'oxygène, l'azote et l'argon. Lorsqu'il est utilisé conjointement avec l'un de ces gaz, l'outil peut être utilisé pour la gravure humide ou sèche. Les réactifs peuvent être utilisés pour les processus de gravure sélective et de planarisation. Enfin, l'actif peut également être utilisé pour le recuit thermique rapide. TCE-7822 comprend également des fonctions avancées de contrôle des processus pour la fiabilité et la précision dans des environnements exigeants. Le modèle comprend un contrôle de substitution multi-gaz, permettant un contrôle précis du débit et une entrée de gaz multiple. L'équipement intègre également une fonction de contrôle du vide qui aide à optimiser la pression et l'uniformité du processus. Cette fonctionnalité permet également d'assurer des taux de gravure rapides, un redéploiement minimal et une diminution des résidus de gravure. En résumé, TOKYO OKA/TOK TCE-7822 est un graveur/asher fiable et puissant capable d'une gamme de processus de gravure et d'ashing. Ce système peut traiter une variété de substrats, traiter les fenêtres de gravure avec une gamme de tailles, et accueillir plusieurs gaz et réactifs. L'unité dispose de fonctions avancées de contrôle de processus, telles que la commande de substitution multi-gaz et la commande sous vide, pour une meilleure précision et fiabilité de gravure.