Occasion TOKYO OKA / TOK TCE-7822S #293796085 à vendre en France

TOKYO OKA/TOK TCE-7822S est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour le traitement précis et efficace des plaquettes de semi-conducteurs et autres substrats dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ce système intègre une technologie de pointe et des fonctionnalités permettant d'obtenir des résultats performants de manière contrôlée et répétable. TOK TCE-7822S est équipé d'une chambre de procédé polyvalente qui permet de réaliser efficacement les processus de gravure et d'ashing. Cette double fonctionnalité permet une flexibilité et une productivité accrues dans le traitement de divers matériaux et structures. L'unité est capable de manipuler une large gamme de tailles de substrats, de petites pièces à de grandes plaquettes de 300mm, ce qui la rend adaptée à la production de masse ainsi qu'à des applications de recherche et développement. Une des caractéristiques clés de TOKYO OKA TCE-7822S est ses capacités avancées de traitement du plasma. La machine utilise une source radiofréquence (RF) de forte puissance pour générer un plasma à l'intérieur de la chambre de procédé, qui est utilisé pour retirer sélectivement du matériau de la surface du substrat lors de la gravure ou de la cueillette. Le plasma peut être contrôlé et ajusté pour obtenir des paramètres de processus précis, tels que la vitesse de gravure, la sélectivité et l'uniformité, assurant des résultats de haute qualité pour une variété de matériaux et de structures. Pour améliorer encore le contrôle et la répétabilité des processus, TCE-7822S est équipé d'un outil sophistiqué de distribution de gaz qui permet un mélange précis et le contrôle du débit des gaz de processus. Cela permet d'optimiser les processus de gravure et d'ashing pour des applications spécifiques, ainsi que de développer de nouveaux processus avec des exigences uniques. L'actif comprend également un modèle complet de surveillance et de contrôle des processus qui suit en permanence les paramètres clés tels que la pression, la température et les débits de gaz afin d'assurer la stabilité et la cohérence des processus. En termes de performance des équipements, TOKYO OKA/TOK TCE-7822S offre des capacités de débit élevées combinées à une excellente uniformité et reproductibilité des processus. Le système est conçu pour fonctionner efficacement dans un environnement de production, avec des temps de cycle rapides et un temps d'arrêt minimal pour l'entretien et le nettoyage des chambres. L'unité de manutention avancée des plaquettes assure un chargement et un déchargement du substrat en douceur et en fiabilité, optimisant ainsi la productivité globale de la machine. TOK TCE-7822S intègre également plusieurs dispositifs de sécurité pour protéger les opérateurs et prévenir les dommages aux composants sensibles. L'outil est équipé de multiples contacts et alarmes pour surveiller les paramètres et conditions critiques, tels que les niveaux de vide et les fuites de gaz, et pour arrêter l'actif en cas d'événements anormaux. En outre, le modèle est conçu pour se conformer aux normes et règlements de l'industrie en matière de sécurité des équipements et de protection de l'environnement. Dans l'ensemble, TOKYO OKA TCE-7822S est un équipement de graveur/asher très avancé qui offre des performances, une fiabilité et une flexibilité inégalées pour une large gamme d'applications de traitement de semi-conducteurs. Avec sa technologie de pointe, ses capacités de contrôle sophistiquées et ses performances élevées, ce système est bien adapté aux environnements de production et de R&D, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir des résultats de haute qualité avec un maximum d'efficacité et de productivité.