Occasion TRIKON / AVIZA Celsior #182678 à vendre en France
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ID: 182678
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
ALD System, 12"
PM1: SiN
PM2: Brank
PM3: High-k
PM4: SiN
PM5: Brank
PM6: SiN
2010 vintage.
TRIKON/AVIZA Celsior est un graveur et asher qui utilise des procédés chimiques de gravure et ashing pour créer des dispositifs nanométriques. AVIZA Celsior est un instrument entièrement automatisé qui permet de sélectionner une large gamme de chimies de gravure et de paramètres de processus. TRIKON Celsior dispose d'un équipement entièrement informatisé qui contrôle des paramètres tels que la température, la pression, le gradient de température et la composition des solutions de gravure. En outre, Celsior offre des contrôles de précision pour la vitesse de gravure, le débit et la qualité de gravure. TRIKON/AVIZA Celsior utilise un procédé de gravure chimique en phase vapeur (CVE) qui permet des taux de gravure élevés avec un contrôle très précis de la vitesse de gravure et de la topographie. Ce processus, associé à la capacité de gravure haute résolution d'AVIZA Celsior, permet des processus à l'échelle nanométrique. TRIKON Celsior offre également un procédé unique de dépôt assisté par vide, permettant un certain nombre d'options de dépôt. Celsior est capable de graver et d'asher une variété de matériaux, y compris des métaux, des alliages, des oxydes et des céramiques, ainsi que des échantillons fabriqués comme des plaquettes et des matrices. La taille de la plaquette dans le système est 125mm avec une taille de caractéristique minimale de 10nm. TRIKON/AVIZA Celsior propose également trois modes de gravure : gravure sélective, gravure complète et/ou gravure de couverture. AVIZA Celsior dispose également d'une unité de support de laboratoire entièrement intégrée pour aider à garantir les processus de gravure et d'ashing de la plus haute qualité. Cette machine prend en charge le chargement et le déchargement d'échantillons, le contrôle automatisé des processus, la création et la gestion de recettes, la gravure de couches structurées, le post-traitement et la génération de rapports. L'outil fournit également la création et la gestion de recettes, l'ordonnancement de l'exécution d'échantillons et l'enregistrement automatisé des données avec des affichages graphiques intégrés et des rapports. L'actif fournit un modèle d'inspection optique automatisé facultatif pour soutenir l'évaluation automatisée des pixels des échantillons gravés et cendrés. TRIKON Celsior est une solution idéale pour les chercheurs et les développeurs de matériaux et de procédés nanométriques de haute performance. Combinant vitesse de gravure élevée, contrôle de précision et traitement automatisé, Celsior peut être utilisé pour produire une variété de structures, modèles et composants de la plus haute qualité. TRIKON/AVIZA Celsior est un choix idéal pour ceux qui recherchent des solutions de gravure et d'ashing de haute précision.
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