Occasion TRIKON / AVIZA Celsior #293652303 à vendre en France

TRIKON/AVIZA Celsior est un graveur/asher avancé idéal pour une large gamme d'applications avancées de traitement de plaquettes. Il est capable d'intégrer plusieurs procédés chimiques et configurations personnalisables pour répondre même aux exigences de gravure et de cendres les plus exigeantes. AVIZA Celsior dispose d'une configuration flexible, permettant de configurer un équipement pour effectuer une gravure chimique sèche à basse pression ou un traitement des cendres à haute pression pour un débit optimisé. Il comprend également une surveillance et un contrôle améliorés des processus avec un scintillement epi haute résolution pour une rétroaction visuelle rapide. Le système est conçu pour utiliser plusieurs chambres distinctes et isolées avec de multiples configurations de processus pour s'adapter à la vaste gamme de gravures et de cendres chimiques. Ces chambres offrent une variété de conditions de température, de pression et d'écoulement qui peuvent être configurées avec précision pour des processus individuels de gravure ou de cendres. Il peut utiliser à la fois des systèmes de cassettes en ligne entièrement et semi-automatisés, augmentant ainsi la cohérence et le débit du produit en éliminant le transfert manuel. Le TRIKON Celsior de pointe dispose également d'une nouvelle unité de surveillance des particules qui utilise un spectromètre de particules organiques en temps réel couplé à un échantillonnage automatisé de plaquettes in situ pour une vue d'ensemble complète de toutes les particules générées lors des processus de gravure et d'ashing. Cela permet d'assurer les niveaux les plus élevés de contrôle de la qualité du procédé pour des rendements optimaux du produit. Celsior comprend également un bras à trois axes, de style XYZ, pour augmenter le débit lors du traitement de plusieurs cassettes. Cela permet une navette automatisée de plusieurs cassettes entre les chambres de processus. Enfin, la machine dispose d'une interface utilisateur graphique conviviale et intuitive qui permet des recettes de processus personnalisées pour chaque chambre individuelle, minimisant encore l'intervention de l'opérateur tout en assurant un contrôle précis des conditions de processus. Dans l'ensemble, TRIKON/AVIZA Celsior est un graveur/asher avancé qui offre plusieurs avantages pour les fabricants de semi-conducteurs : contrôle précis des procédés, manipulation automatisée des cassettes et surveillance précise des particules. Avec ses caractéristiques, il est capable de fournir d'excellentes performances de produit pour même les processus de gravure et de cendres les plus difficiles.