Occasion TRIKON / AVIZA Celsior #293665944 à vendre en France

TRIKON / AVIZA Celsior
ID: 293665944
Taille de la plaquette: 12"
Atomic layer deposition systems (ALD), 12".
TRIKON/AVIZA Celsior est un graveur/asher professionnel de wafer haute résolution utilisé pour graver, déposer, lames et nettoyer les substrats à large portée dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. C'est un outil de production très fiable, entièrement automatisé et rentable. AVIZA Celsior etcher/asher dispose de plusieurs technologies de pointe, y compris le système d'échange automatique (AES) et la source de plasma à distance (RPS). L'AES offre les avantages du contrôle de qualité en temps réel et de la disponibilité rapide des recettes de processus. Le RPS est une source modulaire du plasma réactif, permettant une gravure uniforme de toutes les parties du substrat. En outre, la machine est équipée d'un système de contrôle thermique dynamique (DTC) avancé qui assure un processus de gravure et de dépôt stable à n'importe quelle étape de la procédure. En outre, TRIKON Celsior est en mesure d'exécuter un large éventail de recettes de processus pour obtenir des résultats différents. Il s'agit notamment de substrats de gravure tels que le silicium, le quartz, l'alumine et le TiN. Il a également la capacité de déposer divers matériaux, dont les métaux, le polyimide, le SiO2, le SiN, et plus encore. En outre, Celsior intègre un outil dédié pour nettoyer et polir le substrat, ainsi que pour contrôler et surveiller les conditions de la chambre. Le logiciel comprend la maintenance automatisée et le diagnostic, la protection par mot de passe, l'enregistrement des paramètres en temps réel, le suivi des particules, et plus encore. TRIKON/AVIZA Celsior etcher/Asher est conçu pour une utilisation en salle blanche avec des protocoles de sécurité stricts. Il est facile à utiliser et à entretenir, assurant une quantité optimale de substrats sont traités efficacement et avec une qualité supérieure. Le graveur/asher est également conçu pour des capacités de traitement parallèles, ce qui en fait un choix idéal pour les lignes de production à haut volume. En résumé, AVIZA Celsior est un graveur/asher polyvalent et complet conçu pour effectuer une large liste de processus de gravure et de dépôt. Sa technologie avancée d'automatisation et ses systèmes de surveillance et de contrôle garantissent un fonctionnement efficace et uniforme, avec une qualité de substrat supérieure, assurant une fabrication fiable et rentable des puces.
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