Occasion TRIKON / AVIZA Celsior #9180428 à vendre en France
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ID: 9180428
Taille de la plaquette: 12"
Atomic Layer Deposition (ALD) systems, 12"
ALD Oxide system:
BROOKS Gemini express central hub
(6) Facets for attachment of process modules
(2) Facets for pass through to atmospheric front end
Atmospheric front end with BROOKS
3-Axes robot
BROOKS Acculine wafer aligner
(2) BROOKS BOL TS/M Compatible load port modules
12" FOUP / Manual load
SMIF / Manual load, 8"
Off-board power distribution
Control enclosure for local branch circuit protection
Communication hubs
DC Power supplies
Input / Output hardware
Multiple process modules with hot wall reactor chamber
Shower head injection system
Single zone stage heater
Optimized for oxide deposition: 300°C to 500°C
Standard PM on board chemical vapor
Delivery system with integrated gas block design
Argon bubbled canisters for liquid source
IBM PC Compatible computer
OS With operator interface
Data acquisition
Recipe creation and storage
ALD Process module:
Single process module (PM)
With hot wall reactor chamber
Shower head injection system
(2) Zones stage heater optimized for oxide deposition
Process module:
Nola process module
Wafer transfer module
SECS / GEM Compliance, 12"
(2) Training credits
(2) Installation manuals
(2) Programmers manuals
(2) Operation manuals
(2) Maintenance manuals
(2) Systems schematics on CD-ROM
Options:
Signal light tower
Ionizer bar
System spares and tools:
Celsior shower-head swap kit
Includes:
Load-port handoff buttons
Digital MFCs
With digital (4 MFCs / PM)
Celsior fixture kit:
Stage heater calibration fixture
Ceramic removal fixture
Vacuum viewing fixture included
Robot teach fixture.
TRIKON/AVIZA Celsior est un équipement de gravure/cueillette avancé conçu pour la précision et la gravure et la cueillette à grande vitesse des substrats. Ce système innovant utilise une unité unique de technologie OTS (Opto-Thermal Sputtering) avec une large gamme de capacités de processus. Cette machine est la norme de l'industrie pour l'évaporation, le bombardement ionique, l'oxydation et la gravure/cueillette des substrats pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. AVIZA Celsior dispose d'un outil Opto-Thermal Sputtering (OTS), un procédé unique qui utilise la lumière pour pulvériser le substrat et l'évaporer. Cet atout permet un contrôle précis du processus de pulvérisation et garantit des résultats cohérents de haute qualité. TRIKON Celsior dispose également d'une grande surface de chauffage uniforme du substrat qui permet un recuit rapide et uniforme des surfaces traitées. Celsior utilise un modèle de contrôle numérique en boucle fermée intégré et avancé pour surveiller avec précision les paramètres du processus. Ceci assure que seule la quantité de matière désirée est appliquée sur le substrat lors du processus de gravure/cueillette. De plus, TRIKON/AVIZA Celsior est équipé de dispositifs de sécurité intégrés, y compris des capacités d'arrêt d'urgence, pour protéger les opérateurs contre des situations potentiellement dangereuses. AVIZA Celsior est livré de série avec une variété de différentes tailles de substrat, allant de 75-150 mm. L'équipement est également capable de manipuler une variété de matériaux différents, tels que le silicium, le quartz, le verre et d'autres substrats communs. TRIKON Celsior a également été conçu pour traiter les matériaux métalliques et diélectriques. Celsior est conçu pour une fiabilité à long terme et est capable de produire des milliers de processus de haute qualité. TRIKON/AVIZA Celsior est également facile à utiliser, avec une roue de commande simple qui permet aux opérateurs d'affiner les paramètres rapidement et avec précision. En outre, AVIZA Celsior dispose d'une gamme de diagnostics avancés et de surveillance à distance pour aider les opérateurs à identifier et résoudre rapidement tout problème potentiel. TRIKON Celsior est un système de gravure/ashing avancé qui fournit des résultats rapides, fiables et précis pour une variété d'applications différentes. L'unité est conviviale, et sa machine de commande avancée assure que seule la quantité désirée de matière est appliquée. Celsior est également conçu pour une fiabilité à long terme, avec une variété de différentes tailles de substrat et différents matériaux pris en charge. Cela fait de TRIKON/AVIZA Celsior un choix idéal pour une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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