Occasion TRIKON / AVIZA Celsior #9180428 à vendre en France

ID: 9180428
Taille de la plaquette: 12"
Atomic Layer Deposition (ALD) systems, 12" ALD Oxide system: BROOKS Gemini express central hub (6) Facets for attachment of process modules (2) Facets for pass through to atmospheric front end Atmospheric front end with BROOKS 3-Axes robot BROOKS Acculine wafer aligner (2) BROOKS BOL TS/M Compatible load port modules 12" FOUP / Manual load SMIF / Manual load, 8" Off-board power distribution Control enclosure for local branch circuit protection Communication hubs DC Power supplies Input / Output hardware Multiple process modules with hot wall reactor chamber Shower head injection system Single zone stage heater Optimized for oxide deposition: 300°C to 500°C Standard PM on board chemical vapor Delivery system with integrated gas block design Argon bubbled canisters for liquid source IBM PC Compatible computer OS With operator interface Data acquisition Recipe creation and storage ALD Process module: Single process module (PM) With hot wall reactor chamber Shower head injection system (2) Zones stage heater optimized for oxide deposition Process module: Nola process module Wafer transfer module SECS / GEM Compliance, 12" (2) Training credits (2) Installation manuals (2) Programmers manuals (2) Operation manuals (2) Maintenance manuals (2) Systems schematics on CD-ROM Options: Signal light tower Ionizer bar System spares and tools: Celsior shower-head swap kit Includes: Load-port handoff buttons Digital MFCs With digital (4 MFCs / PM) Celsior fixture kit: Stage heater calibration fixture Ceramic removal fixture Vacuum viewing fixture included Robot teach fixture.
TRIKON/AVIZA Celsior est un équipement de gravure/cueillette avancé conçu pour la précision et la gravure et la cueillette à grande vitesse des substrats. Ce système innovant utilise une unité unique de technologie OTS (Opto-Thermal Sputtering) avec une large gamme de capacités de processus. Cette machine est la norme de l'industrie pour l'évaporation, le bombardement ionique, l'oxydation et la gravure/cueillette des substrats pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. AVIZA Celsior dispose d'un outil Opto-Thermal Sputtering (OTS), un procédé unique qui utilise la lumière pour pulvériser le substrat et l'évaporer. Cet atout permet un contrôle précis du processus de pulvérisation et garantit des résultats cohérents de haute qualité. TRIKON Celsior dispose également d'une grande surface de chauffage uniforme du substrat qui permet un recuit rapide et uniforme des surfaces traitées. Celsior utilise un modèle de contrôle numérique en boucle fermée intégré et avancé pour surveiller avec précision les paramètres du processus. Ceci assure que seule la quantité de matière désirée est appliquée sur le substrat lors du processus de gravure/cueillette. De plus, TRIKON/AVIZA Celsior est équipé de dispositifs de sécurité intégrés, y compris des capacités d'arrêt d'urgence, pour protéger les opérateurs contre des situations potentiellement dangereuses. AVIZA Celsior est livré de série avec une variété de différentes tailles de substrat, allant de 75-150 mm. L'équipement est également capable de manipuler une variété de matériaux différents, tels que le silicium, le quartz, le verre et d'autres substrats communs. TRIKON Celsior a également été conçu pour traiter les matériaux métalliques et diélectriques. Celsior est conçu pour une fiabilité à long terme et est capable de produire des milliers de processus de haute qualité. TRIKON/AVIZA Celsior est également facile à utiliser, avec une roue de commande simple qui permet aux opérateurs d'affiner les paramètres rapidement et avec précision. En outre, AVIZA Celsior dispose d'une gamme de diagnostics avancés et de surveillance à distance pour aider les opérateurs à identifier et résoudre rapidement tout problème potentiel. TRIKON Celsior est un système de gravure/ashing avancé qui fournit des résultats rapides, fiables et précis pour une variété d'applications différentes. L'unité est conviviale, et sa machine de commande avancée assure que seule la quantité désirée de matière est appliquée. Celsior est également conçu pour une fiabilité à long terme, avec une variété de différentes tailles de substrat et différents matériaux pris en charge. Cela fait de TRIKON/AVIZA Celsior un choix idéal pour une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs.
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