Occasion TRIKON / AVIZA Omega  FxP #293799540 à vendre en France

TRIKON/AVIZA Omega FxP est un graveur/asher avancé spécialement conçu pour la gravure de précision et l'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement de contrôle automatisé des fluides qui permet un temps de traitement optimisé et des temps de cycle réduits. La machine peut être utilisée pour des gravures avancées de photorésist, métallisation, MEMS, photovoltaïque, et d'autres matériaux utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. La machine est unique dans sa conception, avec une construction de cadre ouvert, une fenêtre de vue optique, et une chambre d'accès facile pour un entretien et un fonctionnement rapides. La machine combine un système de vide à haut rendement, une unité de livraison de gaz de précision et une puissante machine de chauffage et de refroidissement pour offrir un excellent contrôle de précision lors des processus de gravure et de cueillette. Cela garantit que la surface de l'échantillon est entièrement recouverte de l'graveur sélectionné et n'est aucunement endommagée. AVIZA Omega FxP dispose également de systèmes de sécurité avancés tels que des thermocvlves et un capteur de surveillance de gaz pour détecter les situations dangereuses et arrêter l'outil en cas d'urgence. Cela garantit des conditions de travail optimales pour l'utilisateur tout en travaillant dans l'estcher/asher. La machine a une précision de ciblage allant jusqu'à 1 µm et peut être utilisée à des températures allant de -65 ° C à 500 ° C Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 200 mm et supporte divers gaz de procédé tels que CF4, O2, SF6 et Ar. Pour la gravure ou l'ashing, TRIKON Omega FxP dispose également d'une source ionique bi-mode unique qui offre une gravure à la fois en une étape et en plusieurs étapes dans un atout. Cela permet un haut degré de précision et un motif de gravure/cendres uniforme à la surface de l'échantillon. Tous les composants de la machine sont de qualité supérieure, garantissant les processus de gravure et de cueillette les plus fiables et précis. Omega FxP est un outil entièrement automatisé qui permet une configuration rapide et des temps de cycle rapides. Cela fait du modèle un excellent choix pour tout procédé avancé de gravure-cendres dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.