Occasion TRIKON / ELECTROTECH Omega II #293668338 à vendre en France
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TRIKON/ELECTROTECH Omega II est un équipement de gravure et d'ashing conçu pour diverses applications dans le domaine de la préparation de substrat. L'appareil dispose de commandes programmables qui permettent des options automatisées et des recettes sophistiquées pour une gamme de processus de gravure et d'ashing requis pour une application de photolithographie haut de gamme. Il présente une vitesse de gravure maximale de 40 microns/min, une vitesse de cendre maximale de 80 microns/min et une plage de température de 35 à 70 ° C. TRIKON Omega II est conçu pour limiter la contamination étrangère en prévoyant des chambres fermées. Cette caractéristique limite le rejet de résidus dangereux créés lors de la gravure ou de la cueillette. L'appareil dispose d'un système de refroidissement qui aide à réduire la température du produit gravé ou cendré. En plus du processus de gravure et de cueillette, ELECTROTECH Omega II dispose également d'une unité de manutention intégrée des plaquettes. Cela permet à l'utilisateur de programmer un mouvement de plaquette qui peut être interrompu ou accéléré en fonction du processus souhaité. La machine de manutention des plaquettes facilite également le chargement automatisé des plaquettes, économisant du temps et du travail. De plus, l'appareil est équipé d'un outil de stabilisation de la température, de systèmes à gaz, d'un capot supérieur et d'un panneau de commande de classe 1 et de classe 2. L'actif de stabilisation de la température permet de s'assurer que la plage de température reste dans les limites fixées tout au long du processus de gravure et de cueillette. Les systèmes à gaz aident à réduire la variabilité et le débit des processus. Le panneau de contrôle classé de classe 1 et de classe 2 permet à l'utilisateur de surveiller divers paramètres liés au processus de gravure et de cueillette. Omega II est conçu pour faciliter le fonctionnement avec les gaz de procédé approuvés par PVC/FDA, y compris les gaz CF4, CF2, O2, CHF3 et autres. De plus, le dispositif peut être utilisé pour de multiples applications, y compris la planarisation mécanique chimique, le nettoyage des masques et des plaquettes, et la croissance des oxydes thermiques. Dans l'ensemble, TRIKON/ELECTROTECH Omega II est une unité de gravure et de cueillette polyvalente avec des commandes de précision et des fonctionnalités conviviales. Sa chambre fermée et d'autres options de contrôle en font un outil idéal pour diverses applications de processus. Il offre une large gamme d'options de processus et est conçu pour des performances fiables et à long terme.
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