Occasion TRIKON Planar 200 #293758858 à vendre en France

TRIKON Planar 200 est un équipement de pointe conçu pour des procédés de microfabrication précis et efficaces dans la fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de pointe offre une large gamme de capacités et de fonctionnalités qui en font une solution idéale pour diverses applications, y compris la gravure plasma, l'ashing et la résistance au décapage. Avec son design innovant et ses performances supérieures, Planar 200 établit une nouvelle norme dans l'industrie pour le contrôle des processus, la fiabilité et la productivité. TRIKON Planar 200 est équipé d'une source de plasma RF de haute puissance qui génère un plasma très uniforme pour assurer des résultats de gravure et d'ashing cohérents sur toute la surface du substrat. Cette source de plasma est capable de fournir un large éventail de gaz de procédé, y compris l'oxygène, le fluor et le chlore, permettant aux utilisateurs d'obtenir différentes chimies de gravure et des profils de sélectivité pour répondre à leurs exigences spécifiques de procédé. En outre, le système est équipé de mécanismes avancés de contrôle du débit de gaz et de systèmes de régulation de la pression pour assurer un contrôle précis des paramètres du processus et maintenir un environnement plasma stable tout au long du processus de gravure. Une des caractéristiques clés du Planar 200 est son unité de manutention avancée des plaquettes, qui offre des capacités de positionnement et d'alignement de haute précision pour les substrats jusqu'à 200 mm de diamètre. Cette machine permet aux utilisateurs d'obtenir des motifs de gravure et de cendres précis avec des tailles de caractéristiques de sous-microns et des effets de bord minimes, conduisant à un rendement et des performances de l'appareil plus élevés. L'outil de traitement des plaquettes est entièrement automatisé et peut être programmé pour effectuer des séquences de processus complexes avec une intervention minimale de l'utilisateur, maximisant le débit et minimisant les temps d'arrêt. TRIKON Planar 200 dispose également d'un outil de surveillance et de contrôle des processus à la fine pointe de la technologie qui permet une rétroaction en temps réel et l'ajustement des paramètres des processus pour garantir des résultats optimaux. Le modèle est équipé de mécanismes avancés de détection du point d'extrémité, de capteurs optiques de spectroscopie d'émission et d'outils de diagnostic plasma in situ pour surveiller les taux de gravure, la sélectivité, l'uniformité et d'autres paramètres de processus critiques en temps réel. Cette boucle de rétroaction permet aux utilisateurs d'affiner leurs processus à la volée, d'optimiser les recettes de processus et d'obtenir les résultats de gravure et de cendres souhaités avec une répétabilité et une fiabilité élevées. En plus de ses capacités avancées de contrôle des processus, Planar 200 est conçu avec une interface conviviale et un logiciel qui simplifie le fonctionnement et la maintenance de l'équipement. L'interface graphique intuitive offre un accès facile aux recettes de processus, à l'enregistrement des données, aux diagnostics du système et aux outils de dépannage, ce qui permet aux utilisateurs de mettre rapidement en place des expériences, d'analyser les résultats et d'optimiser les paramètres de processus sans formation ou expertise approfondie. L'unité dispose également de capacités de surveillance et de contrôle à distance, permettant aux utilisateurs d'accéder à la machine depuis un emplacement distant et de superviser plusieurs outils à partir d'une interface centralisée pour des opérations simplifiées et une efficacité accrue. Dans l'ensemble, TRIKON Planar 200 est un outil de graveur/asher polyvalent et fiable qui offre des performances, une précision et une productivité inégalées pour une large gamme d'applications de microfabrication dans les industries semi-conductrices et connexes. Grâce à sa technologie de pointe, à ses caractéristiques avancées et à sa conception conviviale, Planar 200 est la solution idéale pour les chercheurs, les ingénieurs de procédé et les professionnels de la fabrication qui cherchent à obtenir des résultats de gravure et de cendre supérieurs avec un débit élevé, une répétabilité et un contrôle des processus.