Occasion TRIKON Sigma 200 #9293542 à vendre en France
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Vendu
ID: 9293542
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Sputtering system, 6"
Triple rack for RF Power supply
Turbo controller
Dealer controller
Main computer (CTC)
Data logger computer
AC Tray
Rack controller
Platen heater controller
RGA Controller
Operating system: FlexOS Version 3.01S
VCE (A & B):
Process: Wafers loaded, pumped and mapped prior
Vent gas: Nitrogen
Hot Sputter Etch (HSE):
Etch
Preheat module
Power (Coil and platen): 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 Generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
50 SCCM MFC
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450 C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (TiN):
Deposit Ti and TiN
Platen RF bias power: 600 Watt
ADVANCED ENERGY RFX600 generator (13.56 MHz)
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
100 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Deposition chamber (Al):
Deposit Al
Cryo pump, 8"
Process gas: Argon
300 SCCM MFC
Vent gas: Nitrogen
Platen heating: 450°C
Gauge to control and monitor vacuum
Transport chamber (Dealer):
Turbo pump on board
Vent gas: Nitrogen
Metal wafer cassette
1990 vintage.
TRIKON Sigma 200 est un graveur/asher conçu pour graver divers matériaux tels que l'acier, le laiton et d'autres métaux. Il convient à une utilisation dans le travail des métaux, le prototypage et d'autres procédés spéciaux nécessitant une gravure ou un cendrage extrêmement précis. Le système comprend une seule chambre de gravure et de refroidissement et un système de levage vertical des bras pour la manutention des matériaux. La chambre de gravure est en acier inoxydable de 6mm d'épaisseur et intègre une fenêtre de 50 mm de haut sur le côté droit et une plaque de couverture amovible. La chambre de gravure est remplie d'argon, d'hydrogène ou d'autres gaz inertes. La température est surveillée avec un pyromètre numérique et est réglable et contrôlée de la température ambiante jusqu'à 1000 ° C Le système de levage de bras est actionné manuellement, ce qui permet à l'utilisateur de déplacer les matériaux à l'intérieur de la chambre d'une manière lisse et précise. Sigma 200 est alimenté par un moteur secteur de 0,4 kW. Il dispose d'un minuteur automatique et d'un affichage numérique pour la lecture de la température, du temps de gravure et d'autres paramètres. Il est équipé d'un contrôle automatique de la température pour maintenir des conditions de traitement optimales, ainsi que d'une protection contre les températures excessives pour une sécurité accrue. La chambre de gravure est fixée par un interrupteur de sécurité et présente plusieurs caractéristiques de sécurité telles que la protection automatique d'obturation pour la température et la pression. Le processeur est conçu pour une efficacité optimale. Il est équipé d'une soufflante régénératrice pour un débit d'air amélioré qui peut être réglé via le panneau de commande du côté de l'unité. Il en résulte des résultats de gravure améliorés. Il dispose également d'une technique avancée de thermosimulation qui peut être utilisée pour créer des motifs de gravure complexes ou de micro-gravure sur des matériaux tels que l'acier inoxydable et le laiton. Dans l'ensemble, le TRIKON Sigma 200 est un graveur, asher et processeur fiable et puissant, bien adapté à une grande variété d'applications nécessitant des résultats précis de gravure ou de cueillette. Grâce à son design intuitif, ses réglages personnalisables et ses fonctions de sécurité avancées, il permet aux utilisateurs de créer des produits de haute qualité avec efficacité et facilité.
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