Occasion TRIKON Sigma FxP #9221542 à vendre en France

TRIKON Sigma FxP est une gamme complète d'outils de processus de précision conçus pour la gravure, le cendrage et le durcissement de polyimide et d'autres substrats dans des environnements ultra propres. L'équipement offre des résultats fiables et évolutifs pour la gravure fine, la gravure et l'ashing de tout substrat, y compris le polyimide et le silicium. Le système est conçu pour fournir une gravure, un cendrage et un durcissement fiables et répétables grâce à une automatisation avancée et un contrôle et une surveillance précis à bord. Sigma FxP est conçu avec une plate-forme modulaire qui offre une grande flexibilité et une évolutivité fonctionnelle. Il dispose d'une plate-forme haut de gamme entièrement automatisée qui peut être adaptée à chaque application ou substrat spécifique, permettant un réglage précis de tous les paramètres de gravure et d'ashing. Cet outil de procédé robuste offre un contrôle in situ des processus, une excellente vitesse de gravure et de cueillette et des niveaux de résidus extrêmement bas. Le processus de gravure et de cueillette est activé par un module générateur simple ou multi-gaz, avec un débit maximal de 25 sccm et une pression de gaz minimale de 2 psig. Cette unité avancée est capable de surveiller la composition précise du gaz pour un meilleur contrôle de la gravure et de la cendre et de la reproductibilité. En outre, la machine peut être programmée avec des recettes définies par l'utilisateur qui peuvent être rappelées à tout moment pour répéter le processus avec la plus grande répétabilité. Le module de contrôle avancé intégré surveille les paramètres du processus et fournit une interface utilisateur intuitive, y compris un affichage graphique intuitif et des vues multiples qui peuvent fournir des informations de processus en temps réel. L'outil offre également un atout de diagnostic embarqué qui permet de surveiller les paramètres critiques pour une performance et une maintenance optimales du processus ainsi que des alertes modèles pour une action rapide. L'équipement Sigma FxP TRIKON fournit également un mode de détection automatique, permettant à l'utilisateur de passer à un gaz de gravure ou de cueillette différent si les conditions de gravure ou de cueillette ne sont pas optimales. Ce mode rend le système très polyvalent, permettant la gravure et l'ashing de substrats complexes sans nécessiter d'accord manuel des paramètres. L'unité fournit également des outils et des options intégrés d'amélioration des processus, tels que la saisie électronique des signatures et la piste de vérification, afin d'assurer une documentation optimale et détaillée des conditions de processus. Ces outils aident à maximiser la qualité du produit final.