Occasion TRION APO III #9216394 à vendre en France

TRION APO III est un graveur/asher haute résolution conçu spécifiquement pour les processus de production dans l'industrie des photomasques. APO III obtient une précision et une uniformité de résolution maximales tout en gravant ou en aspirant des photomasques rapidement et avec précision. TRION APO III est conçu pour des performances et une facilité de fonctionnement constantes. L'APO III est un équipement intégré composé d'une chambre de processus entièrement fermée, d'un module de manipulation des masques et d'un système de contrôle et de surveillance. La chambre de procédé est équipée de deux sources d'ions de précision et de quatre chambres de traitement. Le module de manipulation du masque comporte une unité automatique d'alignement du masque au substrat pour un chargement et un alignement du masque. La machine TRION APO III comprend le contrôle de pression, le réglage RF, la génération de recettes, la surveillance et le diagnostic. APO III a une résolution maximale de 0,010 micron avec uniformité et répétabilité de +/- 0,0005 micron. Le processus de gravure de premier niveau produit des taux de gravure entre 10-20 Angstroms/seconde, avec une capacité de polariser la gravure jusqu'à 1000 Angstroms par masque. TRION APO III effectue également un traitement humide/sec avec HF et HCI pour créer des couches de masque dur appliquées sur des photomasques pour diverses applications. L'APO III offre de la flexibilité grâce à son processus de gravure à plusieurs niveaux, qui permet d'augmenter le débit en gravant plusieurs couches dans un cycle de processus. TRION APO III dispose également d'un puissant outil de refroidissement à haute capacité pour maintenir une répétabilité maximale du processus pendant les longs cycles de gravure. De plus, l'APO III est conçu pour une production à haut volume et peut offrir une capacité d'essai et de réparation entièrement automatisée. Enfin, TRION APO III est conçu pour être convivial et sûr pour l'opérateur. Grâce à l'écran tactile LCD, l'utilisateur peut facilement configurer et surveiller le processus de gravure, et visualiser divers diagnostics au cours du processus. L'actif est également équipé de systèmes de sécurité tels que des alarmes de gaz, des séchoirs de chambre et une surveillance des fuites/surpressions de gaz qui favorisent un environnement d'exploitation plus sûr.