Occasion TRION Minilock Orion II #9195271 à vendre en France
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ID: 9195271
Style Vintage: 2001
PECVD Load lock triode system
(6) MFC: CF4, O2, TEOS, DES, NH3 and N2 for purge
Automatic purge (Gas cabinet)
Ceramic ring focuses plasma
Optimizing power utilization
Bottom and top electrodes are water cooled
Chamber equipped with: (2) Circular quartz viewing windows
Primary chamber material: Anodized aluminum
Components: Ceramic / Quartz
Computer has been replaced
Bottom electrode temperature: Resistive heater / IR Thermocouple
Upper electrode
Shower head gas distribution
Substrate loading system: Robotic / Manual
Ceramic upper chamber ring
Bottom chamber
AC Distribution / EMO
Gas cabinet: Mass flow controllers
Bottom electrode:
ADVANCED ENERGY Variable: 300-500 Watts (350-460 kHz)
AE RFPP LF-5 RF Power supply (Low frequency: 50-460 KHz)
Top electrode:
Triode source
ADVANCED ENERGY AE RFG 600 Watts
For film stress control capability 3001: 13.56 MHz
Includes:
EDWARDS QDP40 Drystar dry backing vacuum pump 230 VAC, 3 Phase pump
OSAKA TS443 Helical grooved turbo pump & controller
MKS 153 Throttle valve & controller
2001 vintage.
TRION Minilock Orion II est un graveur/asher de haute performance utilisé pour fabriquer des circuits intégrés, des paquets de puces et d'autres composants électroniques. Sa conception compacte et ses caractéristiques polyvalentes permettent un traitement efficace et précis des matériaux pour un large éventail d'applications. Minilock Orion II peut traiter jusqu'à cinq couches de matériau simultanément à une vitesse maximale de 2 500 tr/min pour un débit optimal. Les caractéristiques du TRION Minilock Orion II comprennent un équipement de mouvement de haute précision, un ensemble complet de caractéristiques de sécurité, des vitesses variables et une chambre entièrement métallique pour une gravure plus rapide. Il dispose également d'un logiciel intégré de reconnaissance matérielle pour simplifier la programmation et garantir des résultats précis et reproductibles. Pour plus de flexibilité, le Minilock Orion II peut être personnalisé avec des accessoires supplémentaires tels qu'une chambre étendue, un anneau de confinement intégré et des systèmes de manutention automatisés. TRION Minilock Orion II est alimenté par un moteur d'entraînement direct à faible entretien supporté par un système d'alimentation à deux étages. Cela permet un positionnement précis des matériaux et une plus grande précision lors de la gravure. Il peut être ajusté avec précision à la position exacte en utilisant des buses réglables et une unité de commande manuelle de focalisation. Sa plage de température peut être ajustée à des températures aussi basses que -40 ° C pour une gravure fine, tandis qu'une machine de refroidissement à l'eau assure la fiabilité du dispositif. Minilock Orion II est conçu pour offrir une fiabilité et une flexibilité inégalées et est facile à intégrer avec d'autres équipements. Il est également équipé de capacités de surveillance étendues pour fournir aux utilisateurs des données précises pendant le processus de gravure. Les caractéristiques de sécurité avancées de ce graveur/asher le rendent adapté à un large éventail d'utilisations dans les paramètres de production et de recherche.
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