Occasion TRION Minilock Orion II #9195271 à vendre en France

ID: 9195271
Style Vintage: 2001
PECVD Load lock triode system (6) MFC: CF4, O2, TEOS, DES, NH3 and N2 for purge Automatic purge (Gas cabinet) Ceramic ring focuses plasma Optimizing power utilization Bottom and top electrodes are water cooled Chamber equipped with: (2) Circular quartz viewing windows Primary chamber material: Anodized aluminum Components: Ceramic / Quartz Computer has been replaced Bottom electrode temperature: Resistive heater / IR Thermocouple Upper electrode Shower head gas distribution Substrate loading system: Robotic / Manual Ceramic upper chamber ring Bottom chamber AC Distribution / EMO Gas cabinet: Mass flow controllers Bottom electrode: ADVANCED ENERGY Variable: 300-500 Watts (350-460 kHz) AE RFPP LF-5 RF Power supply (Low frequency: 50-460 KHz) Top electrode: Triode source ADVANCED ENERGY AE RFG 600 Watts For film stress control capability 3001: 13.56 MHz Includes: EDWARDS QDP40 Drystar dry backing vacuum pump 230 VAC, 3 Phase pump OSAKA TS443 Helical grooved turbo pump & controller MKS 153 Throttle valve & controller 2001 vintage.
TRION Minilock Orion II est un graveur/asher de haute performance utilisé pour fabriquer des circuits intégrés, des paquets de puces et d'autres composants électroniques. Sa conception compacte et ses caractéristiques polyvalentes permettent un traitement efficace et précis des matériaux pour un large éventail d'applications. Minilock Orion II peut traiter jusqu'à cinq couches de matériau simultanément à une vitesse maximale de 2 500 tr/min pour un débit optimal. Les caractéristiques du TRION Minilock Orion II comprennent un équipement de mouvement de haute précision, un ensemble complet de caractéristiques de sécurité, des vitesses variables et une chambre entièrement métallique pour une gravure plus rapide. Il dispose également d'un logiciel intégré de reconnaissance matérielle pour simplifier la programmation et garantir des résultats précis et reproductibles. Pour plus de flexibilité, le Minilock Orion II peut être personnalisé avec des accessoires supplémentaires tels qu'une chambre étendue, un anneau de confinement intégré et des systèmes de manutention automatisés. TRION Minilock Orion II est alimenté par un moteur d'entraînement direct à faible entretien supporté par un système d'alimentation à deux étages. Cela permet un positionnement précis des matériaux et une plus grande précision lors de la gravure. Il peut être ajusté avec précision à la position exacte en utilisant des buses réglables et une unité de commande manuelle de focalisation. Sa plage de température peut être ajustée à des températures aussi basses que -40 ° C pour une gravure fine, tandis qu'une machine de refroidissement à l'eau assure la fiabilité du dispositif. Minilock Orion II est conçu pour offrir une fiabilité et une flexibilité inégalées et est facile à intégrer avec d'autres équipements. Il est également équipé de capacités de surveillance étendues pour fournir aux utilisateurs des données précises pendant le processus de gravure. Les caractéristiques de sécurité avancées de ce graveur/asher le rendent adapté à un large éventail d'utilisations dans les paramètres de production et de recherche.
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