Occasion TRION Phantom II #293770879 à vendre en France
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ID: 293770879
Taille de la plaquette: 6"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
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Robotic arm.
TRION Phantom II est un équipement de graveur/asher universel conçu pour fournir un débit et des performances exceptionnels dans une gamme de processus de gravure et ashing. Il dispose d'un design double chambre avec un générateur RF pour les deux chambres. Le générateur RF fournit la puissance pour la gravure et la cendre, permettant un contrôle précis du chauffage de la chambre de procédé et des vapeurs pendant la gravure et la cueillette. Le système comprend également une unité de refroidissement intégrée pour la chambre d'échantillonnage et le générateur RF. Phantom II dispose d'une grande chambre d'échantillonnage qui peut accueillir des échantillons jusqu'à 450 mm de long et 22 mm de diamètre. La chambre peut être chauffée jusqu'à 125 ° C, permettant la création de couches ultra-minces jusqu'à 50nm d'épaisseur. La chambre comporte également une fenêtre à quartz pour permettre un échantillonnage laser ou des mesures non invasives à prélever dans la chambre tout en conservant un joint hermétique. La machine est conçue avec un large éventail de processus de gravure et de cueillette en tête et est capable de travailler avec l'un d'entre eux. Il dispose d'une pompe de dosage chimique embarquée qui peut être utilisée pour contrôler avec précision les gaz de gravure tels que le chlore (Cl2), l'hexafluorure de soufre (SF6) et le trichlorure de bore (BCl3). TRION Phantom II dispose également d'une interface utilisateur intuitive avec des paramètres personnalisables pour faciliter le processus. L'interface utilisateur graphique (interface graphique) a également un affichage de température en temps réel et la possibilité de contrôler à distance sur Internet. Phantom II est conçu pour agir comme un outil de graveur ou d'asher fiable, sûr et reproductible. Il est également conçu pour être résistant à la corrosion et dispose d'un actif de purge interne pour aider à promouvoir un environnement sûr et propre. La gravure et le cendrage peuvent être effectués à l'aide de diverses combinaisons de gaz, jusqu'à cinq gaz fonctionnant simultanément. Le modèle comporte également un équipement de protection de générateur RF de sorte que le générateur ne surchauffe pas ou n'est pas endommagé par les gaz. TRION Phantom II est un système de graveur ou asher efficace et fiable. Sa conception à double chambre, son contrôle précis du chauffage et son interface utilisateur intuitive en font un outil inestimable pour un large éventail de processus de gravure et d'ashing. L'unité est conçue pour être facile à utiliser et à entretenir, ce qui en fait un choix idéal pour tout utilisateur ayant besoin d'une machine de gravure et de cueillette efficace.
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