Occasion TRION Phantom II #9069756 à vendre en France

TRION Phantom II est un graveur/asher haute performance conçu pour permettre un traitement précis et efficace des plaquettes ou des appareils. Ce puissant graveur/asher utilise des plasmas haute densité avec des gaz de fond pour créer des profils de gravure contrôlés. Utilisant des gaz sources de chlore, de fluor et d'oxygène, cet équipement peut être utilisé pour créer des parois verticales et des gravures de surface précises dans une variété d'applications telles que des emballages microélectroniques, des pièces de haute technologie, des mems/nano et des dispositifs connexes. Phantom II utilise un système de moteur linéaire robotisé embarqué à trois axes avec commande de mouvement tridimensionnelle avancée pour automatiser la gravure. Cette unité offre la vitesse maximale, la précision et la répétabilité des plaquettes singulières aux longues courses de plaquettes. La robuste machine robot a une précision de pas de +/-0,5 mm ainsi qu'une accélération et une décélération élevées. Pour améliorer la productivité de l'outil, TRION Phantom II a une capacité de wafer de mesurer jusqu'à 20 pouces de diamètre. Il peut contenir jusqu'à huit modules de processus situés à l'extérieur et à l'intérieur, ce qui permet un traitement à double face avec jusqu'à six modules de processus dans la chambre de processus et deux modules externes. L'actif dispose également d'une technologie efficace de contrôle du gaz qui permet de stocker plusieurs recettes ou procédés de gravure et de les rappeler pour des cycles de processus de plaquettes faciles et reproductibles. Le contrôle logiciel embarqué permet d'ajuster en temps réel les paramètres de la recette au cours du processus, ce qui permet d'affiner les caractéristiques de gravure pour des conceptions de produits spécifiques. La sécurité des utilisateurs est prise en considération, avec un modèle mondial de filtration des gaz d'échappement conçu pour minimiser la production de particules et les émissions. L'équipement dispose d'un système intégré de détection des fuites qui peut détecter la moindre concentration de gaz dans l'enceinte. La présence de l'unité logicielle permet non seulement des étapes pour l'automatisation du processus, mais fournit également une variété d'outils pour la collecte de données qui fournissent des informations telles que l'état des plaquettes en temps réel, la vitesse de gravure et la température du lit. Cela permet aux utilisateurs de mieux comprendre les paramètres au cours du processus et de réduire le temps de production. Phantom II est un graveur/asher haute performance conçu pour permettre un traitement précis et efficace des plaquettes. Utilisant une machine triaxe de contrôle de mouvement robot avec précision de pas, cet outil dispose également d'un atout efficace de contrôle des gaz, une capacité de manutention des plaquettes jusqu'à 20 pouces de diamètre, et des caractéristiques de sécurité telles que des systèmes intégrés de filtration des gaz d'échappement et de détection des fuites. Grâce à ses capacités de collecte de données, le modèle peut fournir aux utilisateurs une compréhension plus approfondie du processus de gravure qui peut aider à réduire le temps de production et à obtenir des résultats améliorés.