Occasion TRION Phantom II #9225903 à vendre en France

TRION Phantom II est un graveur/asher qui est conçu pour le traitement de substrats jusqu'à 200mm de diamètre. Il s'agit d'un équipement de pointe de gravure et de cendrage par plasma doté d'un générateur RF à fréquence variable qui fournit un contrôle de traitement répétable de grande puissance. Son logiciel avancé de surveillance et de contrôle des processus permet un traitement fiable des substrats avec des résultats uniformes sur plusieurs substrats de plaquettes. Le système assure la gravure et la cueillette uniformes et sécuritaires de divers matériaux, dont le silicium polycristallin, le polyimide, le verre silicate et l'arséniure de gallium (GaAs). Phantom II dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive (interface graphique) qui permet aux utilisateurs de configurer et de script rapidement des processus automatisés en quelques clics d'une souris. Son unité de contrôle de processus avancée permet d'obtenir des résultats de gravure et de cueillette optimaux en mode manuel et automatisé. La machine est conçue pour être robuste et flexible afin qu'elle puisse être utilisée dans des étapes avancées de processus comme la planarisation mécanique chimique (CMP). Les paramètres du processus sont rapidement réglables pour différentes applications ou substrats, ce qui le rend adapté à une grande variété de matériaux. L'outil est configurable avec de multiples alimentations en gaz de procédé pour la gravure ou l'ashing selon le type de matériau traité. Sa chambre de traitement est équipée de systèmes de distribution de gaz verticaux et horizontaux qui répartissent uniformément les gaz à travers la base de la chambre pour éviter les points chauds. Pendant ce temps, le support de substrat peut être chauffé jusqu'à 400 Celsius pour assurer la reproductibilité du procédé. Pour améliorer la sécurité et la fiabilité, TRION Phantom II comprend également des systèmes de gestion du gaz pour surveiller et contrôler les niveaux de gaz de procédé tels que l'azote, l'argon, l'oxygène et le dioxyde de carbone. Son actif de gestion du vide garantit que les niveaux de vide restent dans la plage spécifiée. Le modèle est également léger et conçu pour un fonctionnement ergonomique pour plus de confort. Dans l'ensemble, Phantom II est un graveur/asher fiable et sûr avec de multiples fonctionnalités avancées pour fournir des processus de gravure et ashing uniformes. Son interface conviviale rend la configuration et le script plus faciles que jamais, tandis que le contrôle fiable des processus et la surveillance des processus donnent des résultats cohérents. Son cadre léger et sa conception ergonomique le rendent adapté à des projets à long terme et de grande envergure.