Occasion TRION Phantom III #189297 à vendre en France

TRION Phantom III est un graveur et asher qui est conçu pour fournir un traitement précis et efficace des matériaux. Il est adapté à des applications dans divers secteurs, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la réalisation de structures en couches minces et la fabrication de composants de précision. L'équipement a une taille maximale de plaquette de 8 pouces et est capable de gravure avec une variété de gaz. Ses diagnostics intégrés permettent un dépannage et un entretien faciles, tandis que le système de contrôle avancé de l'usine garantit la stabilité et la répétabilité des processus. Phantom III est construit à l'aide d'une architecture de type composant ; cela permet à l'utilisateur d'installer des composants pour des applications spécifiques, comme le traitement d'une seule plaquette ou le traitement par lots. La gravure et le cendrage ont lieu en orientation horizontale ou verticale, ce qui permet des cadences de production plus élevées et des résultats plus précis. Les composants spécifiques utilisés comprennent les alliages résistants à la corrosion, les tubes et anodes à quartz, le matériau à base de titane pour le dépôt d'anode et divers isolants et condensateurs. L'unité est équipée d'un écran tactile à distance, permettant une surveillance en temps réel des processus de gravure et de cueillette. Cette surveillance comprend la température, la pression et le temps de gravure. Il permet également d'ajuster les réglages de puissance, la pression des gaz plasmatiques et les variables de processus pour plus de précision. Le taux de gravure de TRION Phantom III est d'environ une gravure par passe.Les autres caractéristiques de la machine comprennent les systèmes d'extraction de particules de gravure, qui aident à éliminer les particules nocives de la chambre de gravure, et l'optimisation du temps de traitement, ce qui réduit le temps de gravure indésirable. La source de plasma peut également être utilisée pour modifier la cinétique de gravure, ce qui améliore l'homogénéité de la surface gravée. Phantom III est conçu pour être relativement sans entretien, avec la plupart des composants remplaçables ou réparables en interne. Il est également conçu pour être utilisé conjointement avec d'autres équipements de traitement standard, tels que les serrures de charge, les convoyeurs et les unités de filtration sous vide. En conclusion, TRION Phantom III est un graveur et asher très fiable et efficace, adapté à des applications précises et difficiles. Il offre une gamme de fonctionnalités avancées, telles que la surveillance à distance et l'optimisation des processus, ainsi que des fonctions de gravure et d'ashing plus classiques. Cela le rend idéal pour une utilisation dans divers secteurs, y compris la fabrication de semi-conducteurs, la production de structures en couches minces et la fabrication de composants de précision.