Occasion TRION Phantom III #9039842 à vendre en France

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Fabricant
TRION
Modèle
Phantom III
ID: 9039842
RIE / ICP System, parts machine Bottom electrode: 8” Vacuum port: 6" System controller: Pentium computer, touch screen (4) Mass flow controller gas channels Automatic pressure control Automatic RF tuning of bottom electrode, RF generator: 600 watt 13.56 MHz Automatic RF tuning of ICP coil, RF generator: 600 watt 13.56 MHz RF generator Cryogenic chuck: 100mm wafer, temperature control, -50ºC to 100ºC Electrostatic chuck: 6", He backside cooling Emergency on/off with AC power distribution box Components: High vacuum Pump: Osaka TG1003BW Osaka TC1003 controller Backing mechanical pump: none High vacuum valve: VAT 98801-R1 valve Chamber pressure transducer: MKS 627 RF1 Generator: Comdel CX-600AS, RF1 automatch = Trion OEM RF2 Generator: Comdel CX-600AS, RF2 automatch = Trion OEM Heat exchanger: none Chuck heat exchanger: Julabo LH85 Elecrostatic Chuck: Gripping Power EPS300 Gas Controls: Separate exhausted cabinet for gas mixing He backside MFC: MKS 649A, 10sccm Cal’ed for He, used with He Gas 1 MFC: Unit 8100 250 sccm, Cal’ed for N2, used with CF4 Gas 2 MFC: Unit 8100 100 sccm, Cal’ed for N2, used with O2 Gas 3 MFC: Unit 8100 250 sccm, Cal’ed for N2, used with SF6 Gas 4 MFC: Unit 8100 100 sccm, Cal’ed for N2, used with N2 Gas 5 MFC: Unit 8100 250 sccm, Cal’ed for N2, used with CHF3 Parts missing: PC board Ion Gauge Mechanical backing pump Touch screen dead, replaced with standard PC monitor & keyboard.
TRION Phantom III est un graveur/asher spécialement conçu et développé pour la production de structures microélectroniques de haute précision. C'est un leader du marché dans sa catégorie, offrant une haute performance, précision et fiabilité. L'équipement est conçu pour une productivité élevée, permettant aux utilisateurs de fabriquer des structures microélectroniques complexes rapidement et efficacement. Le système est l'outil parfait pour graver et aspirer des matériaux tels que le silicium polycristallin, le dioxyde de silicium, l'oxyde d'étain, le GaAs et d'autres matériaux utilisés dans la production de semi-conducteurs. Phantom III dispose d'un design robuste et durable qui est capable de résister à des environnements de production difficiles. Il dispose d'une chambre de chargement automatisée capable de traiter jusqu'à 19 plaquettes à la fois. TRION Phantom III est capable de traiter des structures de 25 μ m avec une précision de 5 μ m, et son uniformité est inégalée sur le marché. Ceci est possible grâce à l'unité de contrôle de précision avancée qui utilise une machine de contrôle inter-positions intégrée pour maintenir un alignement précis pendant les processus de gravure et de cueillette. Phantom III dispose également de capacités avancées de contrôle des processus, permettant aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster avec précision les processus de gravure et d'ashing pour assurer une excellente précision. Cela comprend un contrôle de rétroaction en boucle fermée pour la puissance, la température et le temps, permettant aux utilisateurs d'ajuster facilement les paramètres pour atteindre les résultats souhaités. L'outil est également capable d'analyser les données de processus sur plaquette pour faciliter l'optimisation et la fiabilité. L'actif optique avancé de TRION Phantom III est capable de détecter et de surveiller efficacement et précisément l'état des plaquettes tout au long du processus de gravure et de cueillette. Le modèle est intégré à un équipement de haute précision de déviation du faisceau qui est capable de focaliser le faisceau sur un seul endroit pour la gravure/cueillette de précision à grande vitesse. Phantom III est un graveur/asher rentable qui offre des performances et une précision exceptionnelles. Sa conception conviviale et son matériel robuste en font un outil essentiel pour tout laboratoire microélectronique. Grâce à ses puissantes capacités de contrôle des processus, il est en mesure d'assurer des processus de gravure et d'ashing cohérents, incroyablement précis et fiables.
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