Occasion TRION Phantom III #9039844 à vendre en France
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Vendu
ID: 9039844
RIE / ICP System
Bottom electrode: 8”
Vacuum port: 6"
System controller: Pentium computer, touch screen
(6) Mass flow controller gas channels
Automatic pressure control
Automatic RF tuning of bottom electrode, RF generator: 600 watt 13.56 MHz
Automatic RF tuning of ICP coil, RF generator: 1250 watt 13.56 MHz RF generator
Cryogenic chuck: 100mm wafer, temperature control, -50ºC to 100ºC
Electrostatic chuck: 6", He backside cooling
Emergency on/off with AC power distribution box
Components:
High vacuum Pump: Osaka TG1003BW and Osaka TC1003 controller
Backing mechanical pump: none
High vacuum valve: VAT 98801-R1 valve
Chamber pressure transducer: MKS 627
RF1 Generator: Comdel CX-600AS, RF1 automatch = Trion OEM
RF2 Generator: Comdel CX-1250S, RF2 automatch = Trion OEM
Heat exchanger: none
Chuck heat exchanger: Julabo LH85
Elecrostatic Chuck: Gripping Power EPS200
Gas Controls:
Separate exhausted cabinet for gas mixing
He backside MFC: MKS 649A, 10sccm Cal’ed for He, used with He
Gas 1 MFC: Unit 8100 250 sccm. Cal’ed for N2, used with CF4
Gas 2 MFC: Unit 8100 100 sccm. Cal’ed for N2, used with O2
Gas 3 MFC: Unit 8100 100 sccm. Cal’ed for N2, used with Ar
Gas 4 MFC: Unit 8100 250 sccm. Cal’ed for N2, used with SF6
Gas 5 MFC: Unit 8100 250 sccm. Cal’ed for N2, used with CHF3
Gas 6 MFC: Unit 8100 100 sccm. Cal’ed for N2, used with C4F8.
TRION Phantom III est un graveur/asher de pointe conçu pour un haut débit automatisé, une précision et des résultats cohérents. C'est un outil important pour la recherche et le développement des fonderies, qui nécessitent un traitement rapide et précis afin de produire des formes et des caractéristiques complexes à l'échelle industrielle. Phantom III utilise un dispositif à faisceau ionique à double focalisation (FIB), qui utilise deux types de faisceaux ioniques - un pour la gravure et un pour le dépôt - pour le traitement simultané d'un même échantillon. Cela permet des délais de traitement plus rapides et une précision accrue. Le faisceau ionique à double focalisation offre également les avantages d'une stabilité du courant du faisceau plus élevée, d'un réglage simultané de l'énergie du faisceau ionique et de la taille des taches, et d'une gamme plus large de paramètres de processus. TRION Phantom III est capable de manipuler une grande variété de plaquettes, de celles traitées classiquement avec E-Beam, à celles qui nécessitent une gravure et un cendrage du faisceau d'ions. Avec une gravure à haut rapport d'aspect allant jusqu'à 100:1, une transformation transparente d'une fonctionnalité à l'autre et un traitement rapide et fiable, Phantom III est un outil de gravure polyvalent et puissant. TRION Phantom III etcher/asher est également équipé d'autres fonctionnalités, telles qu'un système de chauffage in situ, un mécanisme anti-recul et des paramètres de processus qui permettent des changements rapides de processus dans un environnement contrôlé. De plus, l'unité peut être programmée avec des recettes de gravure personnalisées, permettant une personnalisation complète des résultats de gravure. Phantom III dispose également d'une machine de surveillance de processus en temps réel, qui permet aux utilisateurs de surveiller le processus en temps réel pour assurer la conformité et la précision. L'outil permet également un accès direct aux données de traitement et au contrôle statistique des processus (RCP). En plus de ses vastes capacités, TRION Phantom III inclut des caractéristiques de sécurité intégrées dans sa conception. Au cœur de ces caractéristiques se trouve l'actif actif de protection contre les pulvérisations, qui offre une protection contre la contamination des échantillons et les irrégularités de processus. En conclusion, Phantom III est un graveur/asher sophistiqué conçu pour automatiser le haut débit, la précision et des résultats cohérents. Il utilise un modèle Dual-Focused Ion Beam, est capable de manipuler une grande variété de plaquettes, et comprend des caractéristiques de sécurité telles qu'un équipement actif de protection contre les pulvérisations. Avec ses caractéristiques robustes et sa personnalisation, TRION Phantom III est un excellent outil pour les fonderies de recherche et développement.
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