Occasion TRION Phantom III #9167672 à vendre en France

TRION Phantom III est un graveur polyvalent et performant pour une variété de substrats semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer toutes les étapes de gravure et d'ashing nécessaires à la fabrication de dispositifs microélectroniques avancés. Les principales caractéristiques et capacités de Phantom III sont les suivantes : Haute vitesse de gravure et faible génération de particules pour la fabrication de dispositifs ultra-petits. Capacité à graver et à aspirer dans la même chambre avec le même procédé. Équipement de contrôle de l'emplacement des plaquettes de haute précision et amélioration de l'uniformité, du débit et de la répétabilité. Réglage plasma en boucle fermée et contrôle de la vitesse de gravure. Processus automatisé AutoFill pour un changement de tranche plus rapide et un meilleur débit. Techniques de gravure avancées pour la fabrication de nanomètres et de microfissures. Système de loadlock avec plusieurs configurations de rotor pour permettre le traitement par lots. Pompe sèche continue pour améliorer la sécurité tout en effectuant des processus de gravure et de cueillette. Une machine multi-processus de haute précision assure un alignement précis des pièces. Capable de produire une résolution de niveau millisecondes dans la formation de motifs. Capacité de mesurer la profondeur de gravure et d'évaluer les résultats de gravure en temps réel. Programme de fonctionnement et de maintenance entièrement automatisé pour assurer la productivité et la qualité. Logiciel flexible avec contrôle sécurisé de l'accès aux données, suivi des erreurs et suivi et contrôle des processus en temps réel. Outil complet de détection et de diagnostic des défauts pour assurer la fiabilité et la sécurité. Actif équipé d'un modèle automatisé de manutention et de nettoyage des plaquettes pour gagner du temps et du travail. Entièrement configurable pour répondre aux besoins spécifiques des processus. TRION Phantom III offre des performances améliorées avec un coût de vie plus faible et a été prouvé pour permettre des améliorations significatives de cycle-temps et de débit. Phantom III est spécifiquement conçu pour fournir un processus de gravure et de cueillette robuste, fiable et rentable pour la fabrication d'appareils électroniques de pointe.