Occasion TRION Titan #293670453 à vendre en France

TRION Titan est un graveur/asher d'ions profondément réactif dédié à une large gamme de matériaux. Il a un design unique avec deux chambres isolées électriquement pour la gravure et le cendrage qui élimine la contamination des échantillons tout en permettant une productivité élevée, processus rentable. L'équipement produit des gravures et des cendres précises avec des caractéristiques de profil supérieures et un débit élevé. Il est capable de graver et d'aspirer des films de quelques angströms à quelques microns d'épaisseur. Le procédé de gravure est alimenté par une source d'alimentation RF délivrant entre 1 et 1000 watts de puissance sur un poteau intégré à la chambre de gravure. Le poste transforme l'énergie RF en ions qui sont ensuite accélérés vers l'échantillon. Le poteau est réglable en hauteur pour permettre l'adaptation de la fréquence RF avec les ions entrants. La gravure est augmentée par l'injection d'un gaz de gravure qui augmente la vitesse de gravure et améliore l'homogénéité de la profondeur de gravure. Le système peut être utilisé pour la gravure sèche, la gravure humide et la gravure directionnelle. Le processus de cueillette est alimenté par une source d'énergie continue délivrant jusqu'à dix cents volts de puissance sur un poteau intégré dans la chambre de cueillette. Le poste transforme alors l'énergie continue en ions qui sont ensuite accélérés vers l'échantillon. Ces ions retirent la couche supérieure de matière de l'échantillon. Comme pour la gravure, le processus de cueillette peut être augmenté par l'injection d'un gaz de cueillette augmentant à nouveau la vitesse de cueillette et l'uniformité de profondeur résultante. Titan dispose d'une suite complète de matériel de surveillance des processus et de métrologie installé pour assurer la gravure précise et le cendrage de chaque échantillon individuel. L'unité est capable de surveiller la détection in situ des points d'extrémité lors du processus de gravure et de cueillette, ce qui permet un contrôle précis des profils de gravure et de cueillette. De plus, cette machine est capable de mesurer les profils obtenus à l'aide d'interférométrie laser et de profilomètres optiques. TRION Titan est un outil idéal pour la recherche et le traitement de la production d'une large gamme de matériaux, en particulier pour des applications telles que le ratio d'aspect élevé MEMS, nano-tissage, et micro-fluidique en raison de sa conception unique pour la gravure et l'ashing.