Occasion ULVAC CS-300R #293607110 à vendre en France
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ID: 293607110
Taille de la plaquette: 2"-6"
ICP Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6"
Gases: ITO, Ti, GaN, PR, SiO2
PC Non-functional.
ULVAC CS-300R est un équipement de gravure/ashing conçu pour traiter rapidement, précisément et de manière propre divers matériaux tels que le silicium et les métaux. Il est idéal pour la fabrication de MEM (micro-électromécaniques) dans des domaines tels que l'industrie des semi-conducteurs, l'automobile, les appareils grand public et l'alimentation électrique. La machine se compose d'une chambre de procédé, d'une chambre à vide et d'une unité de refroidissement du transformateur de gaz d'échappement. La chambre de procédé de CS-300R est construite en acier inoxydable, assurant que les processus de gravure et de cendrage haute performance sont effectués de manière propre et précise. La chambre est conçue pour être facilement et rapidement purgée, entretenue et remplacée, ce qui la rend idéale pour des processus reproductibles et fiables. Le système de vide ULVAC CS-300R utilise une unité de pompage en deux étapes pour atteindre une pression de 2,25 x 10-3 Pa à l'intérieur de la chambre, permettant des processus de gravure et de cueillette précis et uniformes, même avec un substrat à plus grande échelle. Cette machine permet également un pompage plus rapide et une pureté de procédé plus élevée. CS-300R a la capacité de traiter un large éventail de paramètres, y compris la plage de température, le débit et la pression. Cette flexibilité lui permet de gérer une variété de tâches de gravure et de cueillette. Aussi, avec la technique avancée de gravure hydrodynamique, la machine peut efficacement réduire la durée de gravure et minimiser les déchets. En plus de ces fonctionnalités, ULVAC CS-300R est intégré avec des fonctionnalités de sécurité avancées, telles que des alarmes et des arrêts automatiques, pour assurer le déroulement du processus en toute sécurité. En outre, l'outil est équipé d'un actif intégré de gestion des recettes qui aide l'utilisateur à créer, stocker et modifier facilement des recettes pour des processus de gravure et de cueillette reproductibles et précis. Dans l'ensemble, CS-300R fournit des solutions de gravure et d'ashing qui répondent à des exigences de fabrication précises. Avec sa flexibilité et son contrôle, il peut manipuler un large éventail de matériaux avec des températures, des pressions et des temps précis pour obtenir des résultats de gravure et d'ashing précis. Il est idéal pour une utilisation dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'automobile, de l'électroménager et de l'alimentation électrique.
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