Occasion ULVAC CSE-1100 #9055175 à vendre en France
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ID: 9055175
Style Vintage: 1983
Dry etcher
Power supply
Pumping system
1983 vintage.
ULVAC CSE-1100 est un graveur/asher haute résolution conçu pour la production rapide de microstructures tridimensionnelles. Sa technologie spin-gravure/cendres peut être utilisée dans diverses applications telles que la gravure de substrats MEMS et semi-conducteurs, la fabrication de microfluidiques et de nanostructures, et la formation de microcircuits à couches épaisses. CSE-1100 est un équipement automatisé de gravure/cueillette qui utilise à la fois les processus de gravure/cueillette par voie humide et sèche. Ses capacités de gravure humide permettent la gravure d'une grande variété de substrats, dont l'aluminium, le silicium et le germanium. La capacité de gravure/cendrage à sec d'ULVAC CSE-1100 permet la formation de structures tridimensionnelles avec une grande précision et répétabilité. CSE-1100 est équipé de deux systèmes de gravure/cueillette contrôlés indépendamment. Le système primaire est constitué d'une chambre à vide et d'une cathode de gravure/cueillette, tandis que la seconde unité est constituée d'une source lumineuse laser et d'un disque de cueillette tournant. Lors d'un cycle de gravure/cueillette, le substrat est placé entre la cathode et l'anode à l'intérieur de la chambre à vide. La source lumineuse laser éclaire le substrat, fournissant l'énergie nécessaire pour commencer le processus de gravure/cueillette. Au fur et à mesure de la rotation du disque, il élimine progressivement le matériau indésirable et forme la microstructure désirée. ULVAC CSE-1100 est capable de graver/graver des vitesses allant jusqu'à 200 cm/h. De plus, son moteur de précision numérique et ses capteurs offrent une précision et une répétabilité élevées, permettant la production de structures tridimensionnelles complexes avec peu de défauts. Le contrôleur de bord du CSE-1100 assure la cohérence du processus de gravure/ashing, fournissant une machine bien contrôlée et reproductible. En outre, ULVAC CSE-1100 est équipé d'un capteur de vide intégré, permettant d'optimiser le processus de gravure/ashing en surveillant les changements de pression à l'intérieur de la chambre à vide. Dans l'ensemble, CSE-1100 fournit un moyen efficace et fiable de produire des microstructures tridimensionnelles. Son outil de gravure/ashing de haute précision permet la fabrication de microstructures complexes avec des défauts minimes et des résultats cohérents. De plus, son processus de gravure/cueillette automatisé et son capteur de vide à bord offrent un atout de gravure/cueillette fiable et reproductible.
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