Occasion ULVAC CX-500Z #293758418 à vendre en France

ULVAC CX-500Z est un équipement avancé de graveur et asher plasma conçu pour la gravure de précision et les processus de nettoyage dans les semi-conducteurs, MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), et la fabrication avancée de dispositifs à couches minces. Cet outil très polyvalent offre un large éventail de caractéristiques et de capacités pour répondre aux exigences exigeantes des processus de fabrication modernes. CX-500Z utilise une source de plasma haute densité pour produire des procédés de gravure et de cendrage efficaces et uniformes sur divers substrats, dont le silicium, l'arséniure de gallium et d'autres matériaux semi-conducteurs. Le système est équipé d'une unité sophistiquée d'alimentation RF et de distribution de gaz, permettant un contrôle précis des paramètres de processus tels que la puissance, la pression, les débits de gaz et la température. L'une des principales caractéristiques d'ULVAC CX-500Z est son fonctionnement en mode double, qui lui permet d'effectuer des opérations de gravure et de cueillette dans la même chambre. Cette capacité permet une plus grande flexibilité et efficacité dans le traitement des flux de travail, conduisant à une plus grande productivité et à des temps de cycle réduits. La machine dispose également d'un outil breveté de distribution de gaz qui assure l'uniformité et la répétabilité sur l'ensemble de la plaquette, ce qui donne des taux de gravure et des profils cohérents. Ceci est crucial pour atteindre des rendements de processus élevés et des performances des dispositifs dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. En outre, CX-500Z est équipé d'un outil de détection d'endpoint de pointe qui surveille les paramètres du processus en temps réel pour contrôler avec précision la profondeur de gravure et l'endpoint, assurant ainsi des résultats précis et fiables. Cette caractéristique est particulièrement importante pour les processus de gravure critiques où un contrôle précis de l'enlèvement des matières est essentiel. Le modèle est également conçu avec des interfaces logicielles conviviales qui permettent aux opérateurs de programmer et de contrôler facilement les recettes de processus, de surveiller les paramètres de processus et d'analyser les données en temps réel. Cette interface intuitive simplifie le fonctionnement et minimise les erreurs potentielles, conduisant à des résultats de processus plus cohérents et reproductibles. En outre, ULVAC CX-500Z est construit avec un équipement sous vide robuste et fiable qui permet des temps de pompage rapides, des niveaux de vide élevés et de basses pressions de base. Cela garantit une excellente homogénéité et répétabilité des processus, même dans des environnements de production à haut volume. Globalement, CX-500Z est un système de graveur et asher plasma très avancé qui offre une large gamme de caractéristiques et de capacités pour la gravure de précision et les processus de nettoyage dans la fabrication de semi-conducteurs et MEMS. Son fonctionnement bi-mode, sa source de plasma haute densité, son unité de distribution de gaz brevetée, sa technologie de détection d'endpoint, son interface conviviale et sa machine à vide robuste en font un outil polyvalent et puissant pour diverses applications de fabrication.