Occasion ULVAC Enviro I #9014612 à vendre en France

ULVAC Enviro I
Fabricant
ULVAC
Modèle
Enviro I
ID: 9014612
Taille de la plaquette: 6"-8"
Strip system, 6"-8" Single chamber Optical end-point detection Downstream microwave and low-damage RIE modes Single wafer Load-locked MESC compatible tool Multi-step processing capabilities Windows-based software Off-line recipe selection SECS/GEM communication standards Data logging in the control system.
ULVAC Enviro I est un graveur/asher conçu pour la gravure et la gravure rapides des métaux, des alliages et parfois des matériaux semi-conducteurs. C'est un équipement compact et convivial doté d'un contrôleur avancé et d'un étage motorisé puissant pour permettre une gravure précise des matériaux cibles à grande vitesse. Le système a une conception modulaire qui permet un entretien facile et des ajustements pour une grande variété de paramètres de processus. Enviro I est équipé d'une filière triphasée avancée qui assure une gravure uniforme des grandes zones cibles avec un taux constant. Sa chambre de processus de 10 x 10 cm assure une preuve maximale même des composants les plus fins de l'équipement, tandis qu'un interrupteur à basse pression limite assure une sécurité optimale. L'unité comprend également un chauffage résistif à haute température qui permet des montées rapides à des températures allant jusqu'à 500 ° C, et un chauffage résistif à haute pression qui est idéal pour les processus de gravure jusqu'à 250 Torr. En outre, ULVAC Enviro I est équipé d'un contrôle automatique de la pression et de la ventilation sous vide, ainsi que des capacités de gravure plasma, de nettoyage de substrat, de pré-gravure et de profilage de profondeur. Le contrôle intuitif sur PC d'Enviro I permet un accès facile à toutes les fonctions et à la programmation, permettant aux utilisateurs d'ajuster les paramètres du processus à la volée. La machine dispose également d'un auto-mode intelligent où l'atmosphère et la pression de la chambre sont ajustées, étape par étape, jusqu'à la pression cible automatiquement pour chaque tâche de gravure ou de gravure. L'outil tout-en-un offre flexibilité et commodité, idéal pour fixer des plaquettes, se souvenir de masques, ou graver des pièces métalliques avec précision et rapidité.
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